纳米机械测试

xprobe

具有 AFM 分辨率的定量刚性探针纳米缩进

超高分辨率、刚性探针纳米缩进

布鲁克的xProbe是基于 MEMS 的传感器,可将 Hysitron 仪器的表征功能扩展到 Angstrom 级别。xProbe 采用布鲁克在静电驱动和电容传感方面的专业知识设计,结合最新的 MEMS 制造技术,实现了 AM 的负载和位移噪声和灵敏度水平特性。xProbe 的高轴向刚度增加了其机械带宽,显著提高了反馈响应时间,并实现了高应变率测试。布鲁克的xProbe在定量、刚性探针纳米缩进和纳米摩擦学测试方面树立了新的标准。

x用于高精度纳米机械测试的试验。

纳米级底部的定量结果

布鲁克的 xProbe 提供 <2nN 力和 <20pm 位移噪声地板,通常与基于悬臂的测量系统相关。xProbe 利用在真实力或位移反馈控制下运行的刚性缩进探头,为纳米级底部提供可靠的表征。此外,刚性探头设计可在探头接近/回缩期间实现精确的力感应,而不会捕捉到和摆脱接触。