3次元光学式プロファイラー

共焦点顕微鏡を考える

制約のないゲージ対応計測を実現するブルカーの非接触3次元白色光干渉型顕微鏡

あらゆる倍率で最高の垂直分解能を実現

ブルカーの3次元白色光干渉型顕微鏡では、Z軸でクローズドループスキャンを用いて、ナノメートル以下の垂直分解能と、0.01ナノメートルのRMS再現性を実現しています。そのため、特定のアプリケーションにもっとも適した視野内で、信頼性と再現性の高いデータが得られます。ブルカーの3次元白色光干渉型顕微鏡では、倍率や視野に関係なく、この高分解能が維持されます。共焦点顕微鏡では、視野が制限される50倍以上の倍率を用いなければ、これに匹敵する分解能は得られません。

最大視野

3次元白色光干渉型顕微鏡では、選択した対物レンズに応じた視野で完全なデータセットを取得できるため、低い倍率で大きな視野を得ることができます。ブルカー独自のAcuityXR技術により、低い倍率における高い水平分解能も実現します(回折限界を超えた)。さらに、ブルカーの自動ステージオプションを使えば、さらに広い領域をイメージングし、1つの高分解能データセットとしてまとめることが可能です。

共焦点イメージでは、低い倍率でのイメージ品質が低下している

欠陥(様々な表面テクスチャ)を持つクロムメッキ。

分析困難な表面で高い信頼性と計測結果を提供

ブルカーの3D光学顕微鏡は、低ノイズ、高速、高精度、高精度を実現し、あらゆる表面の測定に対応します。平滑面、粗面、無反射面、反射面、平坦面、急傾斜面など、測定対象がどのようなものであっても、ブルカーの3D光学顕微鏡は優れた性能を発揮します。3次元白色干渉型顕微鏡がお客様の表面特性評価のニーズにどのようにお応えできるか、アプリケーションチームにお問い合わせください。