共焦点顕微鏡について - 妥協は必要?

制約のないゲージ対応計測を実現するブルカーの3次元白色光干渉型顕微鏡

3次元白色光干渉型顕微鏡を支える基礎科学をもとに開発されたブルカーのシステムは、幅広いサンプルタイプやアプリケーションで高分解能イメージングおよび表面測定を実現します。詳細については、 ブルカーにお問い合わせください

ブルカーのアプリケーションノート Comparing 3D Optical Microscopy Techniques for Metrology Applicationsで詳細をご覧いただけます。

あらゆる倍率で最高の垂直分解能を実現

ブルカーの3次元白色光干渉型顕微鏡では、Z軸でクローズドループスキャンを用いて、ナノメートル以下の垂直分解能と、0.01ナノメートルのRMS再現性を実現しています。そのため、特定のアプリケーションにもっとも適した視野内で、信頼性と再現性の高いデータが得られます。ブルカーの3次元白色光干渉型顕微鏡では、倍率や視野に関係なく、この高分解能が維持されます。共焦点顕微鏡では、視野が制限される50倍以上の倍率を用いなければ、これに匹敵する分解能は得られません。この違いの詳細については、 アプリケーションノートをご覧ください。

垂直分解能の比較
共焦点イメージでは、低い倍率でのイメージ品質が低下している

最大の視野

3次元白色光干渉型顕微鏡では、選択した対物レンズに応じた視野で完全なデータセットを取得できるため、低い倍率で大きな視野を得ることができます。ブルカー独自の AcuityXR™ 技術により、低い倍率における高い水平分解能も実現します(回折限界を超えた)。さらに、ブルカーの自動ステージオプションを使えば、さらに広い領域をイメージングし、1つの高分解能データセットとしてまとめることが可能です。

 Quality Magazine の記事 3D Optical Microscopes: A Basic Technology Comparison for Metrology Applicationsをお読みください。

分析困難な表面で比類のない計測を実現

ブルカーの3次元白色光干渉型顕微鏡は、さまざまなタイプの表面の難しい計測でも、低ノイズ、高速、高精度、高確度が実現します。滑らかな表面でも粗い表面でも、反射性でも非反射性でも、平坦面でも斜面でも、ブルカーの技術が優れた計測を可能にします。表面計測のニーズに応える3次元白色光干渉型顕微鏡の詳細については、ブルカーにお問い合わせください。

優れたイメージング

ブルカーのVision64™ソフトウェアは、高分解能データを意味のあるイメージに変換し、エンジニアが正しい判断を下すのを支援します。数多くのカスタマイズ分析と直観的なユーザーインターフェースを備えたブルカーの3次元白色光干渉型顕微鏡ソリューションを使えば、ラボや工場の生産性を簡単に最適化することが可能です。この件に関するご質問はこちらまで