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Hysitron PI 85L
SEM PicoIndenter

定量的なナノ力学試験をSEM中で実施、観察可能

ブルカーのSEMシリーズPicoIndenter(ピコインデンター)は、SEM(走査電子顕微鏡)に取り付け可能なナノインデンテーション装置です。SEMと組み合わせることで、試料を観察しながら、定量的なナノ力学特性評価が可能です。SEMとPicoIndenterが組み合わせにより、ブルカーは皆様に正確な測定箇所でのナノ力学測定、その挙動のイメージングをご提供します。

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PI85L Bruker tool image
surface analysis
PI 85L Stage image v2

高い性能と多様性を満たすデザイン


本システムの試料ステージは最大厚み10mmの試料まで対応可能。XYZ全ての方向で3mm以上動かすことが可能なため、正確に測定箇所をポジショニングできます。また、試料ステージとトランスデューサーにより構成されたシステムは力学的に安定で、十分にナノ力学特性に対応可能な剛性を備えています。PI 85Lは全体的に薄型の設計になっていますので、SEMチャンバー内でステージの傾きを最大にし、ワーキングディスタンスを小さくして観察することが可能です。

SEM観察動画とナノ力学特性測定データをシンクロさせる


PI 85Lで測定されたナノ力学測定データは、測定中にin-situで録画したSEM像と並べて表示することが可能です。ナノ力学特性評価とSEMでのイメージングを同時に行うことで、材料の変形挙動を完全に理解することができます。具体例を右の図中に示します。測定した試料はFIBのビームで加工した半導体材料です。荷重-変位曲線の不連続な箇所は、SEM像に認められる破壊の開始点に相当します。右図は静止画ですが、実際の測定では動画で破壊の様子をご覧いただけます。

PI85L In Situ Mechanical 2
PI85L Mode collage v1

様々な測定モードで材料特性を探る


PI 85Lは、多種多様な試料で、基本的な機械的特性、応力-歪み挙動、剛性、破壊靭性、および変形メカニズムを評価するために、様々な測定モードを選択可能です。

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幅広いオプション機能を追加可能


PI 85Lには標準的な測定機能をさらに拡張するアップグレードオプションをご提供しています。加熱から電気特性評価まで、PI 85Lは幅広いお客様のニーズに対応します。

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Upgrade modes image
surface analysis

PI 85L SEM PicoIndenterの特徴

  • 78kHzのフィードバック速度を誇るAdvanced Performech® digital controller
  • SEM、ラマン顕微鏡、光学顕微鏡、などにも対応できるコンパクト設計
  • 静電駆動と容量性変位検出を備えたトランスデューサ技術
  • ナノインデンテーション、圧縮試験、引張試験、曲げ試験を実施可能。測定中の圧子の振動を独自のQ-Controlにより減衰させ、試験を安定的に行います

PI 85L SEM PicoIndenterはSEM中でナノ力学特性評価を行うために開発された装置ですが、そのコンパクトな形状ゆえに、さまざまなプラットフォームや環境にて使用が可能です。ブルカーの高性能の静電容量型トランスデューサーと78kHz高速コントロールシステムにより、ナノスケールでの力学特性評価において優れたパフォーマンスを発揮します。コンパクトかつ厚みの薄い設計になっていますので、チャンバーの小さなSEMやラマン顕微鏡、光学顕微鏡、ビームラインなどにも使用可能です。