ステージ・チャック アップグレードオプション

速く、硬く、信頼性のあるサンプル固定を


しっかりとサンプルをステージに固定することで、信頼性、再現性のあるナノ力学特性、ナノトライボロジー評価を実現できます。ブルカーはサンプルの対応や形状に応じて確実にサンプルを固定できる、幅広いサンプルチャックをご提供しています。接着剤がなくとも様々なサンプルが固定できるように、マグネット、真空チャック、力学的なクランプ固定などの様々な固定手法のサンプルチャックが設計されています。

Sample Chucks Rapid Rigid Reliable
Sample Chucks Full Wafer

ダイシング不要!ウエハをそのまま評価可能

ブルカーではダイシングせずに、プロセス中の150mm、300mmのウエハをそのまま複数の真空チャックで固定するステージをご用意しています。ブルカーの真空チャックステージはあらゆるウエハを均一な真空度で安定的に固定します。ステージには同心円状に真空チャックを採用し、様々なサイズのウエハを固定できるよう最大限の配慮をもって設計しました。