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超高分解能でナノインデンテーションを

ブルカーxProbeはMEMSトランスデューサーを用いることで、オングストロームレベル領域でナノ力学特性の評価ができます。ブルカーの持つ静電アクチュエーターおよび静電容量センサー技術と最新のMEMS製造技術を用いて設計したxProbeは、荷重および変位検出でAFMレベルの低ノイズと高感度を達成しました。xProbeの高い軸方向の剛性は、高速フィードバック応答、高ひずみ速度での試験を実現。ブルカーのxProbeは定量性のある固い圧子でのナノインデンテーション、ナノトライボロジー試験におけるニュースタンダートです。

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XProbe Quantitative results 2

定量性のある結果をオングストロームレベルで

ブルカーのxProbeはカンチレバーベースの測定システムと同じ、荷重<2nN、変位<20pmのノイズフロアを達成。xProbeでは荷重・変位のフィードバックコントロール制御、正確な荷重センサー、硬いインデンテーション圧子を用いて試験を行い、オングストロームレベルにおける信頼性の高い評価を可能にしました。



xProbe 2D

xProbe 2Dは高感度で水平荷重の検出が可能なため、ナノメートル、マイクロメートルの領域で定量的なトライボロジー評価を行うことができます。また、SPMイメージングと組み合わせることで、摩擦特性のマッピングも可能です。xProbeは カンチレバーを用いたシステムに比べ、カンチレバーのねじれ、曲げの影響がないため、高い定量性があります。

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