이 응용 사례는 고속 EDS 원소 분포 매핑이 짧은 분석 시간 내에 지르코늄 및 스테인리스강 용접부의 미세구조 정보를 제공하는 방식을 보여줍니다. 제시된 EDS 매핑은 매우 높은 X선 수율을 생성하기 위해 높은 빔 전류로 획득되었으며, XFlash® 7 검출기로 검출 및 처리되었습니다.
맵 데이터는 초당 2백만 카운트 이상의 입력 카운트 속도(ICR)와 900kcps 이상의 출력 카운트 속도에서 측정되었습니다. 이러한 높은 카운트 레이트에서도 유지된 스펙트럼 품질 덕분에 용접 이음부 영역의 복잡한 구조를 시각화할 수 있습니다: 크롬(Cr)의 점진적 확산, 철(Fe)의 층 형성, 복합 원소 분포도(Cr, Fe, Zr)에서 나타난 금속간 화합물 또는 공융상 존재 등이 확인됩니다. 더 높은 배율로 매핑하면 주어진 재료 및 여기 조건에서 EDS 분석의 물리적 한계에 가까운 측면 분해능으로 원소 분포를 보여줍니다.