고속 처리량 정량적 EDS 분석
EDS 스펙트럼은 신뢰할 수 있고 정확한 정량 결과를 제공해야 합니다. PTS(위치 태깅 분광법)를 통한 높은 분석 처리량과 빠른 화학 매핑에 대한 수요가 증가함에 따라 초고속 EDS 프로세서가 필수적입니다. XFlash® 7은 최대 1000 kcps로 최고 처리량의 새로운 기준을 제시합니다. 본 연구에서는 1000 kcps와 같은 모든 카운트 레이트에서 EDS 정량이 정확하고 신뢰할 수 있음을 입증합니다.
새로운 XFlash® 7 검출기 시리즈는 전례 없는 속도로 X선 신호를 검출 및 처리할 수 있습니다. 유지된 스펙트럼 품질 덕분에 QUANTAX 시스템은 신뢰할 수 있는 정량화 결과를 제공합니다.
이 응용 사례는 표준 없는 PhiRhoZ 정량화 방법을 사용하여 이원 화합물(FeS₂, 그림 1) 및 스테인리스강(그림 2) 시편의 정량화 결과를 보여줍니다. 스펙트럼은 10kcps부터 1000kcps 출력 카운트 레이트(OCR)까지 다양한 전자빔 전류와 서로 다른 신호 처리 속도로 획득되었습니다. 결과는 매우 높은 카운트 레이트까지 정확도 수준이 유지됨을 입증합니다.
그림 1: 표준 없이 PhiRhoZ 정량법을 사용하여 다양한 펄스 처리량에서 획득한 화학량론적 FeS₂의 정량 결과. S는 최대 1000 kcps OCR까지 상대적으로 +/-1%(절대적으로 +/-0.67%) 원자 % 정확도로 정량 가능합니다. Fe는 상대적으로 +/-2%(절대적으로 +/-1.33%) 원자 % 정확도로 정량 가능합니다.
그림 2: 다양한 펄스 처리량에서 획득한 스테인리스강 시료의 정량화 결과. 표준 없는 PhiRhoZ 정량화 방법을 적용한 정규화 중량 백분율. 모든 주요 원소(Fe, Cr, Ni)는 최대 1000kcps OCR까지 +/-3.5% 상대 정확도(+/-0.7% 절대 정확도)로 정량화 가능.