MoS2의 피크 오버랩의 자동 절충 및 정량화

그림 1: MoS2의 SEM 이미지 및 포인트 스펙트럼

몰리브덴 이황화물 (MoS2)는몰리브덴의 주요 광석이기 때문에 산업적으로 중요한 재료입니다. 자동차 및 가공의 건식 윤활유, 화학 산업의 촉매 및 반도체 산업의 간접 밴드갭 재료와 같은 광범위한 응용 분야가 있습니다.
EDS 스펙트럼에서 강한 피크 오버랩을 가진 재료의 감소와 정량화는 항상 분석적인 도전이었습니다. MoS2는 유황(S)의 K라인이 몰리브덴(Mo)의 L라인과 강하게 겹치는 물질 중 하나입니다. 우리는 XFlash® 플랫 쿼드를사용, 브루커에서 특별한 고성능 EDS 검출기를 사용하여 MoS의 EDS 포인트 스펙트럼을 취득2 도 1에 표시된 바와 같이. 스펙트럼은 브루커의 ESPRIT 2 분석 소프트웨어를 사용하여 기감 및 정량화되었습니다. ESPRIT의강력한 절충볼루션 및 피팅 방법은 개별 피크 오버랩을 정확하게 식별하고 맞출 수 있었습니다(도 2, 도 3). 스펙트럼의 표준이 없는 정량화는 모와 S의 원자 농도를 스토이치오메트릭 농도에 매우 가깝게 주었다.