콴탁스 플랫쿼드
X선 감지의 최대 효율
타의 추종을 불허하는 처리량
민감한 샘플 분석
1
nm
공간 해상도
SEM의 나노 스케일 분해능
>1.1
Sr
가장 높은 솔리드 각도
솔리드 각도는 생성된 X선의 기하학적 수집 효율을 나타냅니다.
2,400
kcps
처리량
기존 EDS 검출기보다 4배 빠릅니다.
QUANTAX 플랫쿼드 - 기존의 SDD가 한계에 도달하는 곳
QUANTAX FlatQUAD는 XFlash® FlatQUAD를기반으로 EDS 마이크로 분석 시스템입니다. 이 4채널 실리콘 드리프트 검출기는 SEM pole peice와 샘플 사이에 삽입되어 EDS에서 최대 고체 각도를 구현합니다. QUANTAX FlatQUAD는 ESPRIT 분석 소프트웨어 제품군과 함께 가장 어려운 샘플에서도 높은 매핑 성능을 제공합니다.
- 중간 빔 전류만을 사용해 빠른 매핑 가능
- 생물학적 또는 반도체 샘플과 같은 극히 낮은 빔 전류(< 10pA)에서 빔 민감 물질 분석 가능
- 음영효과를 피해여 지형이 있는 시료 분석 가능
- 저 kV 및 고배율에서 나노 입자 및 나노 구조물의 분석
- SEM에서 얇은 시료(예: TEM 라멜라) 및 기타 X선 수율이 낮은 시료 측정가능
효율성 극대화
브루커 XFlash® FlatQUAD 검출기의 독특한 환상 설계와 SEM 폴 피스와 샘플 사이의 위치는 타의 추종을 불허하는 단색 각도로 이어져 더 빠른 측정으로 직접 변환됩니다. QUANTAX FlatQUAD는 ESPRIT 소프트웨어 제품군과 함께 가장 낮은 빔 전류 또는 지형이 높은 샘플과 같은 민감한 샘플을 분석하기에 이상적인 계측기를 제공합니다.
또한 XFlash® FlatQUAD는 SEM 또는 FIB를 저전압 분석 STEM로 전환하여 가장 높은 공간 및 분광 해상도로 전자 투명 샘플을 보다 시기 적이고 비용 효율적인 방법으로 분석할 수 있습니다.
전자 투명 샘플에서 더 많은 정보를 얻으려면 XFlash® FlatQUAD와 OPTIMUS 헤드로 개조된 eFlash EBSD 검출기를 결합합니다.
