電子顕微鏡用分析装置

QUANTAX FlatQUAD

最高のX線検出効率

比類なき分析速度

電子線ダメージが気になる試料にも  

1
nm
空間分解能
SEM分析でナノスケールの分解能
>1.1
sr
最大の検出立体角
検出立体角は幾何学的なX線収集効率を示します
2,400
kcps
分析速度
従来のEDS検出器の4倍

QUANTAX FlatQUAD - 従来のSDDの限界を超えて
 

 QUANTAX FlatQUADは画期的なEDS顕微分析システムです。環状に配置された4チャンネルシリコンドリフト検出器がSEMのポールピースとサンプルの間に挿入され、EDS分析で最大の検出立体角を実現します。測定解析用ソフトウェアESPRITと組み合わせることで、困難な分析条件においてもこれまでにないマッピング性能を提供します。

 分析ソフトウェアと組み合わせて、最も困難なサンプルでも、比類のないマッピングパフォーマンスを実現します。

  • 低ビーム電流条件でも超高速マッピング
  • 生体試料、半導体試料などの電子線ダメージを受けやすい試料を低ビーム電流(< 10 pA)で分析
  • 凹凸試料もシャドーイングの影響を受けずに分析
  • ナノ粒子、ナノ構造の低加速電圧、高倍率分析
  • TEM試料のような薄膜やX線収率の低い試料の分析

最高の検出効率

 XFlash® FlatQUAD 検出器のユニークな環状デザインとSEMポールピースと試料の間の測定位置は圧倒的な検出立体角を実現し、より高速な測定に直結します。ESPRIT ソフトウェアと組み合わせることで、電子線ダメージを受けやすい試料の低ビーム電流測定や凹凸の大きい試料の測定などに最適な分析システムとなります。

 XFlash® FlatQUAD をSEMやFIBに取り付けると、TEM試料を最高の空間分解能とエネルギー分解能で分析できる、より身近で低コストな低加速分析STEMとして利用することも可能です。

 XFlash® FlatQUADとeFlash EBSD検出器、OPTIMUS TKD ヘッドを組み合わせたEDS/EBSD複合測定では、TEM試料からさらに多くの情報を引き出すことができます。