電子顕微鏡アナライザー

QUANTAX FlatQUAD

X線検出における最大効率

比類ないスループット

デリケートなサンプルの分析

XFlash_FlatQUAD_drop_shadow_4+5_cut_out

ハイライト

1
nm
空間分解能
SEMにおけるナノスケールの分解能
>1.1
sr
最高の立体角
立体角は生成されたX線の幾何学的収集効率を示します
2,400
kcps
スループット
従来のEDS検出器の4倍の速さ

QUANTAX FlatQUAD - 従来のSDDの限界地点

QUANTAX FlatQUADは、画期的なXFlash® FlatQUADをベースとしたEDSマイクロ分析システムです。環状の4チャンネルシリコンドリフト検出器は、SEMのポールピースとサンプルの間に挿入され、EDSで最大の立体角を達成します。QUANTAX FlatQUADは、ESPRIT分析ソフトウェアと組み合わせて、最も困難なサンプルでも、比類のないマッピングパフォーマンスを実現します。

  • 中程度のビーム電流のみを使用した非常に高速なマッピング
  • 極めて低いビーム電流(<10pA)でのバイオや半導体サンプルのような、ビームの影響を受けやすいサンプルの解析
  • 影の影響を回避した、正しい形状でのサンプル解析
  • 低kVおよび最高倍率でのナノ粒子やナノ構造の分析
  • X線収率の低い、TEMラメラのような薄いサンプルなどの測定

利点

効率を最大限に高める

Bruker XFlash® FlatQUAD 検出器のユニークな環状設計と、SEM ポールピースとサンプルの間の位置関係による高い立体角が、より高速な測定を実現します。 ESPRIT ソフトウェアとQUANTAX FlatQUADは、低ビーム電流でのビームの影響を受けやすいサンプル測定や凹凸の大きいサンプル解析に理想的な装置です。

XFlash® FlatQUADは、SEMまたはFIBを低電圧STEMに変え、よりタイムリーかつ費用対効果が高い方法にて、最高の空間分解能および分光分解能で電子透過サンプルを分析することもできます。

電子透過サンプルからさらに多くの情報を得るために、XFlash® FlatQUADを OPTIMUS TKD検出器と組み合わせることも可能です。

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