比類なき分析速度
電子線ダメージが気になる試料にも
QUANTAX FlatQUADは画期的なEDS顕微分析システムです。環状に配置された4チャンネルシリコンドリフト検出器がSEMのポールピースとサンプルの間に挿入され、EDS分析で最大の検出立体角を実現します。測定解析用ソフトウェアESPRITと組み合わせることで、困難な分析条件においてもこれまでにないマッピング性能を提供します。
分析ソフトウェアと組み合わせて、最も困難なサンプルでも、比類のないマッピングパフォーマンスを実現します。
XFlash® FlatQUAD 検出器のユニークな環状デザインとSEMポールピースと試料の間の測定位置は圧倒的な検出立体角を実現し、より高速な測定に直結します。ESPRIT ソフトウェアと組み合わせることで、電子線ダメージを受けやすい試料の低ビーム電流測定や凹凸の大きい試料の測定などに最適な分析システムとなります。
XFlash® FlatQUAD をSEMやFIBに取り付けると、TEM試料を最高の空間分解能とエネルギー分解能で分析できる、より身近で低コストな低加速分析STEMとして利用することも可能です。
XFlash® FlatQUADとeFlash EBSD検出器、OPTIMUS TKD ヘッドを組み合わせたEDS/EBSD複合測定では、TEM試料からさらに多くの情報を引き出すことができます。