나노 기계 테스트

xZ 500 확장 변위 단계

부드럽고 규정을 준수하는 재료 시스템을 테스트하기 위한 500μm 변위 기능

xZ 500 확장 변위 단계는 브루커의 하이시트론 트리보인텐터 시리즈 나노 기계 테스트 기기의 테스트 범위를 증가시킵니다. 최대 500μm의 들여쓰기 변위를 제공하는 xZ 500은 부드럽고 호환되는 재료 시스템과 장거리 압정 특성을 가진 접착제를 특성화하는 향상된 테스트 기능을 제공합니다. xZ 500은 다음과 같은 고유한 조합을 제공합니다.

  • 초저전력 감지
  • 낮은 변위 소음 바닥
  • 큰 변위 작동 범위

xZ 500 확장 변위 옵션은 부드러운 폴리머, 젤, 접착제 및 작은 적용 힘이 큰 인텐터 변위를 초래하는 기타 호환 재료와 같은 까다로운 샘플 테스트에 이상적입니다. 또한 xZ 500을 사용하여 MEMS 장치에서 불만 구조의 강성을 직접 확인할 수 있습니다.

브루커의 독자적인 3플레이트 정전용량 트랜스듀서는 xZ 500 확장 변위 스테이지와 병행하여 작동합니다. 이 분리된 동작은 스테이지별 트랜스듀서 및 들여쓰기 축 작동에 의한 힘 감지를 결합하고 전체 500μm 변위 범위에 걸쳐 <30nN 힘 소음 바닥과 1nm 변위 소음 바닥을 제공합니다.