스캐닝웨어 테스트는 나노스케일의 코팅 및 필름의 내마모성 연구를 가능하게 하는 기능입니다. 이 기능은 모든 Hysitron TS 시리즈 및 TI 시리즈 계측기에서 기본으로 작동하며 나노 들여쓰기 및 스크래치에 대한 보완적인 기술을 제공합니다.
마모 패턴은 사용자가 미리 정의한 지정된 힘으로 샘플을 스캔하는 래스터에 의해 만들어집니다. 검사는 하나의 테스트 내에서 동일한 영역을 통과하는 단일 패스 또는 여러 패스로 구성될 수 있습니다.
공지된 힘을 적용하고 이 힘이 적용되는 패스 수를 선택함으로써, 마모 스캔 중에 제거되는 물질의 양은 시내 이미징 기술을 사용하여 사후 검사를 측정할 수 있다.
스캐닝웨어는 그림 1에서 볼 수 있듯이 다양한 하중에서 착용하고 한 샘플에서 여러 마모 실험을 수행할 수 있습니다. 이 실험에는 하드 드라이브의 DLC 필름 코팅에 대한 하중 및 패스 수 증가에서 수행된 여러 개별 마모 테스트가 포함되었습니다. 각 마모 테스트에서 제거된 물질의 양은 인-시투 이미징을 사용하여 측정하였다(그림 2 참조).
SPM 이미징이 제공하는 정확한 위치는 도 3에 도시된 바와 같이 표면에서 나노머시닝 및 나노패터닝을 가능하게 합니다. 이 연구에서는, 2개의 마모 패턴은 란타눔 산화물에서 나노 가공되었습니다. 하나의 패턴은 5 μm x 5 μm 사각형, 다른 하나는 1.25 μm x 5 μm 사각형으로 구성되었다. 패턴은 1 μm 미만을 분리하였고, 산화물 층은 기판을 선택적으로 드러내기 위해 제거되었다.