스캐닝웨어
나노스케일에서 내마모성 측정
개요
스캐닝웨어 테스트는 나노스케일의 코팅 및 필름의 내마모성 연구를 가능하게 하는 기능입니다. 이 기능은 모든 Hysitron TS 시리즈 및 TI 시리즈 계측기에서 기본으로 작동하며 나노 들여쓰기 및 스크래치에 대한 보완적인 기술을 제공합니다.
15μN, 30 μN 및 45 μN 하중및 1, 5 및 10 패스와 컴퓨터 하드 디스크 드라이브에 다이아몬드와 같은 탄소 (DLC) 코팅에 스캐닝웨어 테스트.
스캐닝웨어의 작동 방식
마모 패턴은 사용자가 미리 정의한 지정된 힘으로 샘플을 스캔하는 래스터에 의해 만들어집니다. 검사는 하나의 테스트 내에서 동일한 영역을 통과하는 단일 패스 또는 여러 패스로 구성될 수 있습니다.
공지된 힘을 적용하고 이 힘이 적용되는 패스 수를 선택함으로써, 마모 스캔 중에 제거되는 물질의 양은 시내 이미징 기술을 사용하여 사후 검사를 측정할 수 있다.
스캐닝웨어는 그림 1에서 볼 수 있듯이 다양한 하중에서 착용하고 한 샘플에서 여러 마모 실험을 수행할 수 있습니다. 이 실험에는 하드 드라이브의 DLC 필름 코팅에 대한 하중 및 패스 수 증가에서 수행된 여러 개별 마모 테스트가 포함되었습니다. 각 마모 테스트에서 제거된 물질의 양은 인-시투 이미징을 사용하여 측정하였다(그림 2 참조).
SPM 이미징이 제공하는 정확한 위치는 도 3에 도시된 바와 같이 표면에서 나노머시닝 및 나노패터닝을 가능하게 합니다. 이 연구에서는, 2개의 마모 패턴은 란타눔 산화물에서 나노 가공되었습니다. 하나의 패턴은 5 μm x 5 μm 사각형, 다른 하나는 1.25 μm x 5 μm 사각형으로 구성되었다. 패턴은 1 μm 미만을 분리하였고, 산화물 층은 기판을 선택적으로 드러내기 위해 제거되었다.
DLC 코팅의 마모력 및 패스 수의 함수로 측정된 마모 볼륨
