스타일러스 프로파일러

덱탁XT

스타일러스 프로파일러의 스탠다드 모델
DektakXT

하이라이트

덱탁XT

DektakXT®는 50년 이상 지속적인 개발과 혁신을 통한 글로벌 업계 리더로써, 단일 아치형benchtop 설계를 통해 다양한 applications 에 활용이 가능하며, 4Ω의 탁월한 반복성 및 정확성 그리고 최대 40% 향상된 스캔 속도를 제공합니다. DektakXT의  집약된 기술력인 안정적인 계측 및 유저 편의성을 통해 R&D부터 QC까지 개선된 공정 모니터링의 가치와 성능, 놀라운 사용 편의성을 제공합니다. DektakXT는 micro전자장치, 반도체, MEMS, 광학, 필름, 코팅, 태양열, 고휘도 LED, 의료 및 재료 과학 산업 분야에서 박막 및 거칠기, 곡률 등을 1 Å(옹스트롱)의 수직 해상도를 바탕으로 나노미터 단위 표면 측정을 가능하게 합니다.

4 옹스트롬
반복성
업계 최고의 정확도 제공.
단일 아치형
디자인
획기적인 스캔 안정성 제공.
자체 정렬
스타일러스
간편한 팁 교환 가능.

특징

특징

데이터 수집 및 분석 가속화

독특한 direct-drive스캔 단계를 활용하는 덱탁XT는 업계 최고의 성능을 유지하면서 측정 스캔 시간을 40%까지 속도를 높입니다. Bruker의 64비트 병렬 처리 작업 및 분석 소프트웨어인 Vision64는 3D 파일을 더 빠르게 로드하고 필터 및 다중 스캔 데이터베이스 분석을 더 빠르게 적용할 수 있습니다.

DektakXT의 64비트 병렬 처리 Vision54는 거의 절반의 시간내에 대용량 3D 데이터 파일을 완료하고 처리합니다.

가장 반복 가능한 측정 기능 제공

Dektak의 all-in-one 스타일러스 센서는 큰 수직 범위와 저력 스캐닝을 동시에 가능하게 합니다.

단일 아치형 구조를 구현하면 덱탁XT를 더 견고하게 하여 환경 소음의 영향을 최소화합니다. 덱탁XT의 업그레이드된 "스마트 전자 제품"은 온도 변화를 줄이고 오류를 유발하는 소음을 최소화하는 최신 프로세서를 사용하여 <10nm 이하 높이차를 측정할 수 있는 더욱 강력한 시스템이 될 수 있습니다.

완벽한 운영 및 분석

브루커의 Vision64 소프트웨어는 가장 직관적이고 능률적인 시각적 사용자 인터페이스를 제공함으로써 덱탁XT의 혁신적인 디자인을 보완합니다. 지능형 아키텍처와 사용자 지정 가능한 자동화 기능의 결합을 통해 빠르고 포괄적인 데이터 수집 및 분석을 가능하게 합니다. 단일 스캔에서 일상적인 분석을 수행하기 위해 방안을 사용하든 사용자 지정 필터 설정 및 계산을 적용하든 덱탁XT 데이터 분석기는 현재 데이터를 표시하는 동시에 다른 가능한 분석을 표시합니다.

DektakXT의 Vision64는 운영 및 데이터 분석을 크게 단순화하고 가속화합니다.

쉽게 만들기

DektakXT는 가장 빠르고 쉬운 팁 교환 기능을 갖추고 있어 다양한 팁을 통해 가장 광범위한 응용 분야를 다룰 수 있습니다.

덱탁XT의 자체 정렬 스타일러스 조립은 사용자가 스타일러스 크기를 빠르고 쉽게 변경할 수 있도록 하는 동시에 프로세스 중에 발생할 수 있는 모든 잠재적인 사고를 제거할 수 있도록 합니다. Bruker는 거의 모든 응용 분야의 요구를 수용할 수 있는 가장 광범위한 스타일러스 크기를 제공합니다.

높은 수율 보장

덱탁XT는 자동화된 다중 사이트 측정 루틴을 빠르고 쉽게 설정하고 실행하여 웨이퍼 표면 전반에 걸쳐 박막의 정확한 두께를 타의 추종을 불허하는 반복성을 확인할 수 있는 기능을 제공합니다. 이 효율적인 모니터링은 수율을 개선하여 귀중한 시간과 비용을 절약할 수 있습니다.

하이브리드 회로의 덱탁XT 3D 맵.

웨비나

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고객의 평가

저는 브루커 프로파일러의 오랜 소유자입니다. 제 첫 번째 프로파일러는 약 20 년 전 Dektak6 스타일러스 프로파일러였고, 그 다음 Dektak150이었고, 그 다음은 광학 프로파일러인 ContourGT였으며, 가장 최근에는 DektakXT 였습니다. 게다가, 이 모든 기계는 여전히 작동하고 있습니다! 그 기계들은 최소한의 가동 중지 시간으로, 매일매일 미세하고 정확한 측정을 제공하는 그저 '일하는 말'과 같습니다. 멀티 유저 시설의 매니저로서, 저는 브루커와 오랫동안 좋은 파트너십을 맺어 정말 행복합니다. 수백 명의 학생들이 이미 수천 번, 이 기계를 사용했습니다. 이러한 프로파일러는 강력하고 신뢰할 수 있으며 친숙한 플랫폼임을 완전히 증명합니다.

Dr. Shimon Eliav, Unit for Nano Fabrication Head, The Hebrew University of Jerusalem

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