SI BrickScan

SiBrickScan(SBS)은 전체 실리콘 잉곳 내 침입성(interstitial) 산소를 FTIR 정량화하기 위한 전용 앳라인 시스템으로 세로 축을 따라 농도 프로필을 생성합니다. 웨이퍼 또는 시험용 샘플을 톱으로 자르지 않고 이러한 정보를 활용하면 비용 절감 등 많은 장점이 있습니다.

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유용한 정보로 제품의 품질을 체크하고 최적화하십시오.

실리콘 잉곳의 산소 구배를 알면 예를 들어 실리콘 결정화 과정을 제어하고 최적화하거나 불량한 원재료 배치를 식별하는 등 중요한 결론을 내리는 데 도움이 됩니다. 그러므로 SBS를 이용하면 제품 품질을 최적화하고 결함 있는 웨이퍼 양을 줄임으로써 비용을 절감하는 데 도움이 될 것입니다. 개별 잉곳을 임의로 샘플링하면 샘플 준비 노력이 훨씬 절감되고 필요한 정보를 훨씬 일찍 얻을 수 있습니다.

최첨단 FTIR 분광분석을 통한 최고의 감도

FTIR 분광분석을 이용한 침입성 산소 정량(ASTM/SEMI 1188)은 잘 알려진 중요한 분석 방법이지만 몇 mm 범위의 얇은 실리콘 샘플에만 적용됩니다. SiBrickScan(SBS)은 그러한 한계를 극복한 제품이며, 얇은 샘플을 제작하기 위해 시간을 들여 잉곳을 부수는 노력 없이, 주 축을 따라 잉곳 전체 안의 산소 구배를 결정하는 최초의 상용 전문 제품입니다. SBS는 신뢰성 있고 최첨단인 Bruker FTIR 기술 및 관련된 적외선 오버톤 흡수 밴드를 스마트하게 조합하여 활용합니다.

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다양한 잉곳 유형에 적용되는 전용 SBS 버전

직경이 ~150mm (6") 또는 ~200mm (8")인 원통형 실리콘 잉곳 뿐만 아니라 다결정 또는 단결정 표준 정사각형 태양전지 잉곳(단면적 ~156 x 156mm2)에 맞는 SBS가 제공됩니다. 다른 직경 또는 형상에 적합한 시스템은 요청에 따라 제공할 수 있습니다.

견고한 산업용 디자인

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견고하고 정밀한 리니어 드라이브가 자동으로 잉곳 측정 위치를 제어합니다. 구성과 잉곳 유형에 따라 잉곳 축으로 최대 ~12mm의 공간 산소 분해능을 달성할 수 있습니다. 신뢰성 높고 안전한 인터로킹 메커니즘을 적용하여, 운용자가 움직이는 부품과 접촉하게 될 위험이 없습니다.

직관적이고 간편한 소프트웨어 인터페이스

SiBrickScan(SBS)에는 산업 환경에 최적화된 직관적인 전용 그래픽 사용자 인터페이스가 포함되어 있습니다. 또한 일반적인 생산 근로자라면 표준작업절차를 몇 분 안에 배울 수 있습니다. 간단히 잉곳을 적재하고 필요한 분석 레서피를 선택한 후에 측정을 시작하면 됩니다. 그러면 자동으로 측정 자체가 시작되며, 데이터 평가도 이루어집니다.

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제공되는 참조 샘플을 이용하는 혁신적인 고감도 빔 경로

독창적이고 혁신적인 적외선 빔 경로를 통해 최고의 측정 감도가 보장됩니다. 기기에 고품질 참조 샘플이 제공되며, 참조 측정이 자동으로 이루어집니다.

고객 요구에 따른 디텍터 옵션

SBS에는 액체 질소와 별도로 작동하는 Striling 냉각 디텍터가 제공될 수 있습니다. 자동 재충진 장치가 포함된 액체 질소 냉각형 디텍터가 장착된 SiBrickScan도 주문할 수 있습니다.

얇은 샘플을 준비하지 않고도 침입성 산소를 정량화합니다.

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SiBrickScan은 최장 길이 500mm의 실리콘 잉곳에 있는 침입성 산소를 분석할 수 있습니다. 이러한 귀중한 정보를 이용하면 톱질을 하지 않고도 개별 잉곳을 정량화할 수 있을 뿐만 아니라 결정화 과정을 최적화할 수도 있습니다.

ASTM/SEMI 1188과 직접 연계된 고품질 보정

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SBS의 산소 평가는 ASTM/SEMI 1188에 직접 연계되고 그로부터 도출된 보정법을 사용합니다. 두 방법의 연관성이 거의 완벽하기 때문에 침입성 산소 농도를 최고의 정확도로 평가하게 됩니다.

최고 수준인 SBS의 탐지 감도

샘플의 형상과 물성에 따라 다르지만(예, 저항), SBS로 달성할 수 있는 침입성 산소 탐지 한계는 < 2ppma (< 1017/cm3)입니다. 타당성 검사 측정을 원하시면 현지 Bruker 대리점에 문의하시기 바랍니다.