SI BrickScan

O SiBrickScan (SBS) é um sistema at-line específico para a quantificação FTIR de oxigénio intersticial em lingotes de silício completos, resultando num perfil de concentração ao longo do eixo longitudinal. Obter esta informação sem cortar wafers ou testar amostras é uma vantagem importante e económica.

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Informações valiosas para verificar e otimizar a qualidade do produto

O conhecimento do gradiente de oxigénio de lingotes de silício permite obter conclusões importantes, p. ex., para o controlo e otimização do processo de cristalização de silício ou para identificar lotes de matérias-primas com defeito. Por isso, o SBS pode ajudar a reduzir custos através da otimização da qualidade do produto e da redução da quantidade de wafers com defeito. A amostragem aleatória de lingotes individuais reduz significativamente os trabalhos de preparação da amostra e fornece informações relevantes muito mais cedo.

Elevada sensibilidade com a espetroscopia FTIR moderna

A quantificação de oxigénio intersticial através da espetroscopia FTIR (ASTM/SEMI 1188) é um método de análise importante e de renome, mas que está limitado a amostras de silício finas na gama baixa de mm. O SiBrickScan (SBS) supera esta limitação e é o primeiro sistema totalmente específico disponível no mercado que determina o gradiente de oxigénio em lingotes completos ao longo do seu eixo principal, sem que para isso seja necessária uma preparação morosa e destrutiva de amostras finas. O SBS utiliza, de forma inteligente, uma banda de absorção do harmónico do infravermelho relacionado, em combinação com a tecnologia FTIR fiável e moderna da Bruker.

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Versões SBS específicas para diferentes tipos de lingotes

O SBS está disponível para lingotes PV quadrados mono e policristalinos (secção transversal ~156 x 156 mm2), bem como para lingotes de silício cilíndricos, p. ex., com ~150 mm (6") ou ~200 mm (8") de diâmetro. Sistemas para outros diâmetros e formatos disponíveis a pedido.

Design robusto e compatível com a indústria

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Um atuador linear preciso e robusto controla a posição de medição do lingote: dependendo da configuração e do tipo de lingote, pode ser alcançada uma resolução de oxigénio espacial de ~12 mm ao longo do eixo do lingote. Os mecanismos de bloqueio fiáveis e seguros excluem o risco de o operador entrar em contacto com as partes móveis.

Interface do software intuitiva e fácil de utilizar

SiBrickScan (SBS) inclui uma interface de utilizador gráfica específica e intuitiva, otimizada para ambientes industriais. O procedimento de operação padrão também pode ser aprendido em minutos por trabalhadores da produção normais: basta carregar o lingote, selecionar a receita de análise desejada e iniciar a medição. A própria medição será, de seguida, automaticamente conduzida e será incluída uma avaliação de dados.

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Caminho de feixe inovador e altamente sensível, com amostra de referência incluída

Um caminho de feixe de infravermelho único e inovador garante máxima sensibilidade durante a medição. Uma amostra de referência de alta qualidade já está incluída no instrumento e a medição de referência é executada automaticamente.

Opções de deteção de acordo com os requisitos do cliente

O SBS está disponível com um detetor refrigerado de Stirling, que opera sem nitrogénio líquido. Opcionalmente, o SiBrickScan também pode ser encomendado com um detetor refrigerado a nitrogénio líquido, que inclui um dispositivo de reabastecimento automático.

Quantificação de oxigénio intersticial sem preparação de amostras finas

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O SiBrickScan permite a análise de oxigénio intersticial em lingotes de silício com um comprimento de até 500 mm. Esta informação valiosa permite a otimização do processo de cristalização, bem como a qualificação de lingotes individuais antes de proceder ao corte.

Calibração de alta qualidade, diretamente relacionada com o ASTM/SEMI 1188

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A avaliação de oxigénio SBS utiliza uma calibração que está diretamente relacionada com o ASTM/SEMI 1188 ou que deriva deste. Uma vez que a correlação dos dois métodos é praticamente perfeita, a concentração de oxigénio intersticial é avaliada com a máxima precisão.

Máxima sensibilidade de deteção com o SBS

Dependendo do formato e das propriedades da amostra (p. ex., resistência), o SBS é capaz de alcançar limites de deteção de oxigénio intersticial < 2 ppma (< 1017/cm3). Se estiver interessado num teste de viabilidade, entre em contacto com o seu representante Bruker local.