共焦点法、焦点移動法、干渉法の能力比較や干渉法(CSI法/Coherence Scanning Interferometry)の位置づけ、ブルカーによる干渉法の課題解決策など実測例を交えて解説します。(約35 分)
今回のウェビナーは、様々な業界で活用されている表面性状評価を目的とした可視光域の光学顕微鏡に搭載される
○ 共焦点法、焦点移動法、干渉法の各測定方式による能力比較、
○ 干渉法(CSI法/Coherence Scanning Interferometry)の位置づけ
○ 過去からみられる干渉法の課題解決に向けた最新のBruker社アプローチ
を、一部 実測例を交えてお話させていただきます。
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