3D光学式プロファイラー

ContourX-500

3D計測のための完全に自動化されたベンチトップ
ContourX-500

ハイライト

ContourX-500

ContourX-500光学式プロファイラー(三次元白色干渉型顕微鏡・表面形状粗さ計)は、高速で非接触の3次元表面形状測定を可能にする、世界で最も包括的なベンチトップ型自動測定システムです。ゲージ対応のContourX-500は、卓越したZ軸の分解能と精度を誇り、ブルカーの白色光干渉計(WLI)のフロアスタンド型モデルの利点をすべて備えていますが、設置面積ははるかに小さくなっています。このプロファイラは、精密加工された表面や半導体プロセスのQA/QC計測から、眼科やMEMSデバイスの研究開発における特性評価まで、幅広い複雑なアプリケーションのために簡単にカスタマイズすることができます。

チップ/チルト構造
光学ヘッド
トラッキングエラーを最小限に抑えながら、さまざまな角度で表面形状を測定します。
最先端
操作画面
あらかじめプログラムされた豊富なフィルターや分析機能に直感的にアクセスできます。
統合された
エアアイソレーション
省スペースで最高の計測精度を実現。

特長

機能

ブルカー独自のベンチトップ型設計

ブルカー独自のティップ/チルト機能を搭載した顕微鏡ヘッドは、生産現場でのセットアップや検査において、比類ない柔軟性を提供します。顕微鏡ヘッドの光路にチップ/チルト機能を組み合わせることで、ブルカーは検査ポイントをチルトとは無関係に視線に結合します。これにより、オペレーターの介入が少なくなり、最大限の再現性を得ることができます。その他のハードウェアの特徴としては、革新的なステージデザインにより、より大きなスティッチング能力を実現し、1200x1000の測定アレイを備えた5MPカメラにより、低ノイズ、広い視野、高い横方向の解像度を実現しています。これらの機能と自動ステージングおよび対物レンズの組み合わせにより、ContourX-500は、コンパクトな設置面積でありながら、研究開発や産業用計測に理想的な環境を実現しています。

従来のピッチ&ロールステージのデザインでは、測定のために検査ポイントを目線上に維持するために、オペレーターが5つの軸の動きを調整する必要がありました。ブルカー独自のチップ/チルト設計では、傾きに関係なく、検査ポイントに視線を維持し、最適な画像取得と最速のデータ取得を実現します。

広範な分析への効率的なアクセス

Vision64からMultiple Regionを介して直接抽出されたマイクロ流体デバイスのボトムチャネルの分析。

カスタマイズされた数千もの分析結果と、ブルカーのシンプルでパワフルなVisionXpress™およびVision64®ユーザーインターフェースにより、ContourX-500は研究室や工場での生産性を高めるために最適化されています。ブルカーの新しいユニバーサル・スキャニング・インターフェロメトリ(USI)測定モードは、完全に自動化された、自己感知型の表面テクスチャ、最適化された信号処理を提供すると同時に、分析対象の表面トポグラフィを最も正確かつ現実的に計算します。

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