三维光学轮廓仪

ContourX-500

全自动台式三维计量解决方案
ContourX-500

亮点

ContourX-500

ContourX-500 光学轮廓仪是全球功能最全面的自动化台式系统,可快速完成非接触式三维表面计量。ContourX-500 具有卓越的 Z 轴分辨率和准确度,并具备布鲁克落地式白光干涉(WLI)仪器广受业界认可的所有优势,而占地面积更小。该款轮廓仪可轻松自主配置,适用于从精密加工表面和半导体工艺的质量保证/质量控制(QA/QC)计量到眼科和微机电系统(MEMS)器件的研发表征等广泛的复杂应用。

倾斜/俯仰
光学头
旋转测头进行不同角度测量表面特征时,将跟踪误差减至最低。
最先进
用户界面
提供对大量预编程过滤器和分析程序的直接调用。
集成式
气浮隔震
在紧凑空间内提供最佳计量精度。

特点

特点

专为卓越台式计量设计

布鲁克专有的光学头倾斜/俯仰技术,为用户生产设置和检测提供极大的灵活度。布鲁克将自动倾斜/俯仰功能与显微镜头中的光路相结合,实现了检测点与视线的结合,不受倾斜影响,从而减少操作人员的干预,提供最大可重现性。其他硬件功能包括创新工作台设计,可提升拼接能力;配备一只 5MP 摄像头,并采用 1200x1000 测量阵列,可降低噪声、扩大视场并提高横向分辨率。ContourX-500 将这些功能与自动化平台设置和物镜相融合,而且仅占较小的空间,成为“按需测量”研发和工业计量的理想系统。

传统的俯仰滚动工作台设计需要操作人员调整五个旋转轴,以将检测点保持在视线上进行测量。布鲁克独特的光学头倾斜/俯仰设计,不受倾斜影响,都能将视线保持在检测点上,从而优化图像采集,并大幅缩短数据获取时间。

直接使用多种分析

分析微流体器件的底部通道,通过 Vision64 的多个区域直接提取。

ContourX-500采用布鲁克简单而强大的 VisionXpress™ 和 Vision64® 用户界面,提供数千种自定义分析以提升实验室和工厂的效率。布鲁克全新通用扫描干涉(USI)测量模式可提供全自动、自感知式表面纹理、优化信号处理,同时对所分析的表面形貌执行最准确、最实际的计算。

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