测量设置

舒适的 EBSD 测量设置

ESPRIT EBSD 软件提供一系列用于设置和执行测量的助手和工具。

信号设置

EBSD 的 ESPRIT 具有信号助手功能,可自动调整采集设置,如摄像机曝光时间和增益。这将导致最佳照明图案图像。只有在测量条件发生变化时,才需要重新调整。

高级用户还可以使用提供的控件手动设置所有参数,从而根据特殊要求对模式质量进行微调。

校准助手对话框

花样中心校准

精确的花样中心校准是正确标定和避免物相误标的必要条件。EBSD 的 ESPRIT 提供复杂的校准助手,可使用当前样本自动执行此任务(无需校准标准)。只有在更改样品检测器几何构型(例如样品检测器距离(DD)或探测器倾斜度)后,才需要重新校准。

专家用户还可以执行手动模式中心校准。此功能在Spot mode 下工作,允许手动菊池条带检测微调,然后是自动标定和花样中心坐标优化。

漂移校正

EBSD 测量可能由于多种不同原因而容易发生样品漂移。ESPRIT 包含强大的漂移校正功能,还支持 EBSD 测量并补偿图像漂移。

采集自动化

舒适的自动化测量离不开对样品台的控制。这项功能通过将视野图拼接在一起,以高分辨率从大样品区内获取数据。此外,用户可以在不同位置启动多个测量作业,并在样品表面局部放大。

自动保存功能

包含菊池花样和 EDS 谱图的超大数据集可以在每次测量结束时自动保存。这项功能对于无人值守的数据采集特别有用。