Nion HERMES
超高能量分辨的单色EELS STEM
亮点
能量分辨率优于5 meV
高亮度冷场发射电子枪（CFEG）
色散单色仪
Python开源控制软件
超高真空（UHV）结构
超稳定的电子能量损失谱（EELS），附带直接检测选项
针对六方氮化硼可提供两种不同温度下的声子色散曲线S(q,w)图
Nion HERMES 技术参数
| 产品特点 | 优势 |
| 在30 kV电压下，能量分辨率< 5 meV（在60 kV电压下< 6 meV） | 可分辨EELS谱峰边缘的细微差异 |
| 在200 kV电压下，能量范围最高可达2 keV | 单一EELS谱可采集所有元素信息 |
| 可校正所有五阶轴向像差 | 更大的探针角度，更高的电子束流 |
| 每项操作都可远程实现 | 远程支持，无需现场操作 |
| 无摩擦、中心对称的样品台 | 超精确的样品移动，无漂移 |
| 使用滚珠轴承的双倾样品杆 | 无齿隙，实现超精确倾斜 |
| 快速静电束阻断器 | 在不收集数据时，避免样品损伤 |
| 五阶校正的EELS光学器件 | 可接受>50 mr的半角，分析更高效 |
| 镜柱由离子泵实现全真空 | 最大限度地减少样品污染和蚀刻 |
| 镜柱采用全金属真空密封件 | 样品真空度通常小于<1x10-9 torr |
| 整个镜柱可加热至140°C | 最大限度地降低对杂散交流场的灵敏度 |
| 全镜柱采用双层μ金属屏蔽 | 安装后可重新配置镜柱 |
| 包含自诊断电子装置 | 快速的远程服务 |