Nion HERMES

特長

直接検出オプションに対応した電子エネルギー損失分光法（EELS）

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異なる2つの温度における六方晶窒化ホウ素のフォノン分散曲線を示すS(q, w)図（並列取得）

特長	利点
30 kVで5 meV未満（60 kVで6 meV未満）のエネルギー分解能	EELSスペクトル端の微細な差異を分離
200 kVで最大2 keVの広いエネルギー範囲	1つのEELSスペクトルで全元素を取得
すべての5次軸上収差を補正	より大きなプローブ角と高いビーム電流
すべての操作をリモートで実行可能	現地での支援を必要としないリモート操作
摩擦のない中心対称型試料ステージ	超高精度の試料移動とドリフトの抑制
ボールベアリングを使用した二軸傾斜試料ホルダー	バックラッシュのない超高精度傾斜
高速静電ビームブランカー	データ非取得時の試料損傷を防止
5次収差補正EELS光学系	50 mradを超える取り込み半角により、分析効率を向上
顕微鏡カラム全体をイオンポンプで排気	試料の汚染とエッチングを最小限に抑制
カラムには金属製真空シールのみを使用	試料部の真空度は通常1×10⁻⁹ Torr未満
カラム全体を140°Cまでベーク可能	外来交流磁場の影響を最小限に抑制
カラム全体を二重μメタルでシールド	設置後もカラムの再構成が可能
自己診断機能を備えた電子回路	迅速なリモートサービス