原位纳米机械测试

电气特性模块

在纳米缩进、压缩或拉伸加载期间同时进行原位电气和机械测量
压缩 n 掺杂 VLS 生长的硅纳米片时电气表征。明尼苏达大学博士施陶弗博士论文《纳米级脆性材料的变形机制》(2011年)第150-152页。

布鲁克用于 PI 系列仪器的电气特性模块 (ECM) 为同时进行原位电气和机械测量提供了强大的解决方案。使用连接探头和样品的导电路径,施加电压偏差,以连续测量不断变化的电气接触条件,作为施加力和探头位移的函数。通过电子显微镜成像确认正确的尖端位置,可以进行现场特定的测试。通过尖端电气测量还可用于深入了解微或纳米结构(如柱和颗粒)的机电特性。湿度或水的吸附作用通过电子显微镜的真空环境最小化。

MEMS 电气推拉 (E-PTP) 器件进一步扩展 ECM 功能,支持拉伸测试,同时使用标准的四点测量测量样品电阻率。电流源和电压感应电极的分离允许通过消除测量上的接触和铅电阻来精确测量电气性能。也可以进行电压扫描以测量IV曲线,而真正的应力和应变则通过电子显微镜中的监测和测量试样尺寸来确定。