原位纳米机械测试

带扫描探针显微镜成像的原位 SEM 纳米力学

基于力反馈的样品表面形貌成像

布鲁克行业领先的 Hysitron® 扫描探针显微镜(SPM)现可用于有着Hysitron PI 89 SEM PicoIndenter的原位扫描电子显微镜(SEM)。通过使用传感器闭环控制中的压电驱动扫描台,探针可相对样品进行纳米精度的快速逐行扫描。由此形成了基于力反馈的样品表面形貌成像。

(a)大块金属玻璃上原位纳米压痕的 SEM 图像;(b)原位纳米压痕的 SPM 图像;和(c)压痕轮廓可以量化由滑移带形成的堆积体积和台阶。
(a)大块金属玻璃上原位划痕的 SEM 图像;(b)原位微划痕的 SPM 图像;和(c)划痕轮廓可以量化由滑移带形成的堆积体积和步数。

尽管在 SEM 中可以通过二次电子成像查看高分辨率的表面特征,但获取定量形貌数据仍具有难度。SPM 可使用与进行压痕测试的相同探针对样品表面进行成像,从而解决上述问题。这样就得到了样品准确的高度信息和表面粗糙度等相关参数。此功能对于分析测试后形变(如从纳米压痕和划痕中测量堆积或沉陷)也极为实用。