인-시투 나노 기계 식 테스트

스캐닝 프로브 현미경 이미징을 갖춘 SEM 나노역학

힘 피드백에 기초한 샘플 표면의 지형 화상 진찰

브루커의 업계 최고의 Hysitron® 스캐닝 프로브 현미경 검사법 (SPM)은 이제 Hysitron PI 89 SEM Picoindenter와함께 시상 주사 전자 현미경 검사법 (SEM)에 사용할 수 있습니다. 트랜스듀서를 사용하여 폐쇄 루프 제어에서 압조 작동 스캐닝 단계를 활용함으로써, 팁은 나노 스케일 정밀도로 신속하게 시료에 비해 래스터링될 수 있다. 이를 통해 힘 피드백을 기반으로 샘플 표면의 지형 이미징을 가능하게 합니다.

(a) 벌크 메탈릭 유리에 대한 내부 나노 핀들여쓰기의 SEM 이미지; (b) 시상 나노핀덴티션의 SPM 이미지; 및 (c) 들여쓰기에 걸쳐 프로파일은 슬립 밴드에 의해 형성된 더미 볼륨 및 단계를 정량화할 수 있습니다.
(a) 벌크 메탈릭 유리에 대한 내부 스크래치의 SEM 이미지; (b) SPM 내 마이크로 스크래치; 및 (c) 스크래치에 걸쳐 프로파일은 슬립 밴드에 의해 형성 된 더미 볼륨과 단계를 정량화 할 수 있습니다.

표면 피처는 SEM의 이차 전자 이미징을 사용하여 고해상도로 볼 수 있지만 정량적 지형 데이터를 얻는 것은 어렵습니다. SPM은 동일한 프로브를 사용하여 들여쓰기 테스트를 수행하는 데 사용되는 샘플 표면을 이미지화하여 이 문제를 해결할 수 있습니다. 이를 통해 샘플 피처의 정확한 높이 정보와 표면 거칠기와 같은 관련 매개 변수를 제공합니다. 이 기능은 또한 나노 들여쓰기 및 스크래치 트랙에서 더미 또는 싱크인 을 측정하는 것과 같은 시험 후 변형을 분석하는 데 특히 유용합니다.