SEM 피코인텐터 시리즈

히시트론 PI 89

견고하고 정밀하며 모듈식 인 시트 SEM 나노 기계 식 기기
Hysitron PI 89 SEM PicoIndenter

하이라이트

차세대 시투 나노 기계 식 테스트 기기

히시트론 PI 89 SEM 피코인텐터

Hysitron PI 89 SEM Picoindenter는 전자 현미경(SEM, FIBSEM, PFIB)을 스캐닝하는 고급 이미징 기능을 활용하여 동시에 이미징하면서 정량적 나노 기계적 테스트를 수행할 수 있습니다. PI 89는 브루커의 시장 을 선도하는 정전용량 트랜스듀서 기술을 더욱 발전시켜 최초의 상업용 SEM 나노역학 플랫폼을 가능하게 했습니다. 사용 가능한 테스트 기술에는 나노 들여쓰기, 인장 테스트, 기둥 압축, 입자 압축, 캔틸레버 굽힘, 골절, 피로, 동적 테스트 및 기계적 특성 매핑이 포함됩니다.

타의 추종을 불허
제어 및 성능
본질적인 변위 작동 및 변위 제어 제공 <1nm to 150µm, industry-leading load range from <1µN to 3.5N, and 78kHz feedback rate and data acquisition up to 39kHz to capture transient events.
혁신적인
단계 기술
EBSD, EDS, BSE 및 TKD 검출기를 사용하여 신뢰할 수 있고 반복 가능한 테스트, 속성 매핑, 내부 FIB 밀링 및 분석 이미징을 위해 인코딩된 선형 및 두 가지 회전 및 틸트 스테이지구성으로 정밀한 시료 포지셔닝을 지원합니다.
다재 다능 한
모듈식 설계
높은 온도, 나노트리브로지, 전기 특성화 모듈, 나노다이내믹, 푸시-투-풀, 직접 당기는 장력, 높은 균주 율 및 스캐닝 프로브 현미경 이미징을 포함한 전체 시내 테스트 기술 및 옵션을 지원합니다.

특징

기능

고급 성능 및 기능

Hysitron PI 89의 컴팩트한 디자인은 최대 단계 기울기 및 최소 작동 거리를 제공하여 테스트 중에 최적의 이미징을 가능하게 합니다. PI 89는 연구원들에게 경쟁 시스템보다 더 큰 다양성과 성능을 제공합니다.

  • 새롭게 디자인된 플랫폼으로 다기능성과 사용 편의성 향상
  • 1nm 인코딩선형 단계는 이동 범위를 늘리면서 자동화된 테스트 모드에서 더 큰 반복성을 제공합니다.
  • 향상된 프레임 강성(~0.9 x 106 N/m)은 테스트 프로세스 전반에 걸쳐 더 큰 안정성을 제공합니다.
  • 회전 및 기울기(RT) 단계 구성을 통해 이미징, FIB 밀링 및 EDS, CBD, EBSD 및 TKD와 같은 검출기에 대한 액세스를 사용하여 분석 데이터 및 이미징을 수행할 수 있습니다.
차세대 시스템 설계와 함께 사용할 수 있는 두 개의 회전/틸트 스테이지 구성. 시스템에 추가된 간단한 슬라이딩 스테이지를 사용하면 트랜스듀서에 비해 샘플 위치를 빠르고 간단하게 조정할 수 있습니다.

진정한 변위 제어

SEM PicoIndenter를 통해 실제 변위 제어 테스트에서 미세 하중이 떨어집니다. 제한된 볼륨에서 bcc 금속의 변형 메커니즘을 제한하는 속도. 액타 Materialia, 볼륨 166, 2019년 3월, p. 687-701, 2019

Hysitron PI 89는 브루커의 독자적인 하위 나노미터 감도 트랜스듀서와 압조 구동 굴곡을 사용하여 본질적으로 변위 제어 및 부하 제어 테스트를 수행합니다.

  • 본질적으로 변위 제어 모드에서 압전액액터는 소정의 변위 속도로 변위를 적용할 수 있으며, 트랜스듀서는 힘을 측정합니다.
  • 진정한 하중 제어 모드에서 트랜스듀서는 정전기를 정전용량으로 측정하는 동시에 힘 정전기를 적용할 수 있습니다.
  • 트랜스듀서의 고유저전류 설계는 열 드리프트를 최소화하고 전례 없는 부하 및 변위 감도를 제공합니다.

SEM 이미징 및 분석 매핑과 동기화된 인 시투 기계 데이터

SEM의 비디오 캡처를 통해 기계적 데이터를 현미경 이미징에 실시간으로 모니터링하고 직접적인 상관관계를 수행할 수 있습니다. 샘플은 서던 캘리포니아 대학 스티븐 너트 교수의 호의를 제공받았다.

Hysitron PI 89와 함께 획득한 인-시투 기계 데이터는 SEM 이미징과 동기화되고 나란히 표시됩니다. 이를 통해 나노미터에서 마이크로미터 스케일에서 엔지니어링 된 재료의 성능, 수명 및 내구성에 결함, 기계적 변형 및 열 또는 전기 자극의 영향을 볼 수 있습니다. 이 동기화를 통해 더 많은 범위의 분석이 가능합니다.

  • SEM의 회전 및 기울기 단계는 EBSD와 샘플의 기계적 특성 매핑의 조합을 제공합니다.
  • FIB 밀링은 챔버를 배출하지 않고 나노 기계적 테스트 전후의 샘플에서 수행 될 수 있습니다.

부속품

웨비나

추가 정보

자세한 정보

자세히 알아보기

SEM을 보유한 주요 간행물

2020

  • Haviar, S. 외. 유리 및 결정 Zr (Hf)Cu 박막 합금의 나노 덴팅 및 마이크로 벤딩 분석. 서핑. 코팅 테크놀 399, 126139 (2020).
  • Hsu, Y.-C., 리, C.-L. & Hsueh, C.-H. CoCrFeMnNiAlx 높은 엔트로피 합금 필름의 미세 구조 및 기계적 특성에 알 추가의 효과. 엔트로피 vol. 22 (2020).
  • Hsu, Y.-C., 리, C.-L. & Hsueh, C.-H. Ti 요소를 추가하여 CoCrFeMnNi 높은 엔트로피 합금 필름의 미세 구조 및 기계적 특성의 수정. 서핑. 코팅 테크놀 399, 126149 (2020).
  • 김, W. 외. 인장 변형 하에서 Au30Ag70 합금 나노 와이어에서 변형 트위닝. J. 합금 Compd. 816, 152586 (2020).
  • Kjellin, P., 바이킹슨, L., 다니엘슨, K., 요한슨, P. & 베너버그, A. PEEK 임플란트및 생체 내 효과에 대한 나노 크기의 지르코늄 인산염 코팅. materialia 10, 100645 (2020).
  • Kong, B. S. 외. 나노 기둥 압축 테스트를 사용하여 austenitic 스테인레스 스틸 용접에서 δ 페리트의 열 노화 활성화 에너지 평가. Scr. Mater. 186, 236–241 (2020).
  • 쿠로야나기, S., 시노다, K., 유모토, A. 및 아케도, J. 크기 의존 준 취성 -균성 미세 압축 테스트 중 단일 결정 알파 -알루미나 입자의 덕트 전환. 액타 마터. 195, 588–596 (2020).
  • Li, Q. 외. 나노 트윈 알-Fe 합금에서 플라스틱 이소트로피 및 장력 압축 비대칭: 내부 미세 기계 적 조사. Int. J. Plast. 132, 102760 (2020).
  • 루오, H., 장, H., 성, H., 리우, J. P. 및 Szlufarska, SmCo5의 I. 무정형 전단 밴드. 교. 공상 과학. A 785, 139340 (2020).
  • Nedelkovski, V. 외. 마이크로 머신 하드 조직 샘플의 미세 기계적 평가에 실험 제약의 영향. 제이 메치 베브. 바이오메드. 교. 106, 103741 (2020).
  • 사르베샤, R. 외. 마이크로필러 압축을 이용한 Mg-8Al-0.5Zn 합금내 제2상 입자의 기계적 성질 평가. 교. 공상 과학. a 775, 138973 (2020).
  • 소렌슨, D. 외. 마이크로 캔틸레버 빔을 사용하여 측정 된 대량 금속 유리 Vitreloy 105의 본질적인 인성. 액타 마터. 183, 242–248 (2020).
  • Su, R. 외. 부분 탈구 및 결함 네트워크에 의해 매개 되는 매우 높은 강도와 가소성: 파트 I: 텍스처 효과. 액타 마터. 185, 181–192 (2020).
  • Tesař, K., Maýák, J., Vanèk, P., 드라호쿠필, J. & Hlinka, J. 마이크로 구조 및 단일 단계 고체 상태 합성에 의해 제조 된 GaV4S8 세라믹의 미세 기계적 특성. 세람. Int. 46, 7045-7049 (2020).
  • 토팔, E. 외. 디아톰 프러스투의 기계적 반응에 대한 수치 및 실험 적 연구. 나노 물질 vol. 10 (2020).
  • 우, G., 장, J., 리우, C., 왕, Q. 루, J. 저미크론의 초강한 유리 결정 나노-이중상 합금. Scr. Mater. 183, 17–21 (2020).
  • Yan, Y. 외. 실온에서 마이크로 스케일 재료의 스트레스 완화를 위한 시투 SEM 벤딩 방법의 정량적. Exp. Mech. (2020) doi:10.1007/s11340-020-00611-7.
  • Yilmaz, H., 윌리엄스, C. J. & 더비, B. 이중 스테인레스 스틸에서 페릿과 오스틴 기둥의 강도와 가소성에 미치는 효과. 교. 공상 과학. 793, 139883 (2020).
  • 위안, Z. 외. 고엔트로피 합금 입자의 인터페이스에 열 처리의 효과 강화 알루미늄 매트릭스 복합체. J. 합금 Compd. 822, 153658 (2020).
  • 윤희열, 최지엠, 우, 에이치케이, 오, S. J. & Hong, S.H. 접이식 디스플레이를 위한 기계적으로 매우 탄력적인 나방-눈 구조를 갖춘 초소수성, 반사 방지, 유연한 하드 코팅. 커. Appl. Phys. (2020) doi: https://doi.org/10.1016/j.cap.2020.07.001.
  • 자이드, H., A. & 코담바카, S. 크기에 의존하는 항복 및 성분이 풍부한 신체 중심의 입방 VNbTaMoW 합금의 변형 경화. Scr. Mater. 178, 518–521 (2020).
  • 주, Q. 외. 단일 결정 알루미늄 합금 6063의 인 시투 마이크로 압축. 교. 공상 과학. a 775, 138974 (2020).
  • 쉬, S., Xie, D., Liu, G., 명나라, K. 및 왕, J. 단일 단계 FeCrAl 합금에서 탈구 활공에 대한 저항을 정량화. Int. J. Plast. 132, 102770 (2020).
  • 2019
    2018
    Archive

    2017

    화학 이질성의 나노 스케일 네트워크를 통해 금속 안경의 플라스틱 흐름의 변조. 액타 머티리얼리아, 140 (2017년): 116-129

  • 제이 제이 유, 제이 이우, L. J. 유, 에이치 더블유 양, C. R. 카오. 단일 결정 Cu6Sn5의 미세 기계적 거동은 피코인덴티션에 의한 것입니다. 재료 과학 저널, 52.12 (2017): 7166-7174
  • 제이 카벨, Y. 양, M. 발로치, C. 하워드, 티 코야나기, K.A. 테라니, Y. 카토, P. 호세만. SiC-SiC 복합 상 간 특성 및 해체 메커니즘의 마이크로 기계적 평가. 복합 부품 B: 엔지니어링, 131 (2017): 173-183
  • 호세 F. 고메즈-코르테스, 마리아 엘 노, 이냐키 로페즈 페레뇨, 예수 에르난데스-사즈, 세르지오 I. 몰리나, 안드레이 추빌린, 호세 M. 산 후안. 나노 스케일의 형상 기억 합금의 초탄성을 위한 크기 효과 및 스케일링 파워 법. 자연, 12 (2017): 790-796
  • 요른 스코그스루드, 크리스티안 타우로우. 철 단일 결정 금이 캔틸레버 빔의 나노 기계적 모델링에 결정 방향의 효과. 재료 과학 및 공학: A, 684 (2017): 274-283
  • J. Snel, M. A. Monclús, M. 카스티요-로드리게스, N. 마라, I. J. Beyerlein, J. 로렌, J.M. 모라 알다레과이아. 온도 및 층 두께의 함수로서 Cu /Nb 나노 스케일 금속 다층의 변형 메커니즘지도. JOM, 69.11 (2017년): 2214-2226
  • L.J. 유, H.W. 엔, J.Y. 우, J.J. 유, C.R. 카오. 칩 스태킹 애플리케이션을 위한 마이크로 조인트에서 단일 결정 Ni3Sn4의 미세 기계적 거동. 재료 과학 및 공학: A, 685 (2017): 123-130
  • 마리아 코이프만 크리스토소프, 시리 디슨, 임리트 노이, 알렉스 카츠만, 보아스 포크로이. 모공 및 인대 크기 제어, 열 안정성 및 금의 나노 다공성 단일 결정의 기계적 특성. 나노스케일, 38 (2017)
  • M. 바로식, C. 루모. R. 한, Z.L. 장, P.H. 메이로퍼. TiAlN 시스템의 골절 인성과 구조적 진화는 어닐링 시. 과학 보고서, 7 (2017)
  • 박옥경, 찬드라 세카르 티와리, 양양, 산짓 보믹, 수미야 비노드, 칭보 장, 비키 엘 콜빈, S.A. 시에드 아시프, 로버트 바타이, 예브게니 S. 페네프, 보리스 I. 야콥슨, 풀릭 멜 M. 아자얀. 향상된 표면적 및 기계적 특성을 갖춘 자기장 제어 그래핀 옥사이드 기반 종이 접기. 나노스케일, 21 (2017)
  • R. 프리츠, 디 윌러, A. 라이트너, V. 마이어 키너, 디 키퍼. 길이 와 온도에 걸쳐 초미세 곡물 크롬의 변형 메커니즘을 지배. 액타 스테리아, 140 (2017): 176-187
  • R. 코네츠닉, R. 다니엘, R. 브루너, 디 키퍼. 계층화된 박막의 선택적 인터페이스 인성 측정. AIP 어드밴스, 7 (2017)
  • 사라 C. L. 피셔, 카자 그로스, 오스카 토런트 아바드, 마이클 M. 베커, 유영 공원, 르네 헨셀, 에두아르 아르츠. 강력한 가역적 접착을 위한 깔때기 모양의 미세 구조. 고급 재료 인터페이스, 4.20 (2017)
  • 박선영, 은지곽, 명황, 로드니 S. 루프, 김주영.
  • 금속 유리와 그래핀의 나노라미네이트는 강화된 탄성 계류, 강도 및 연성과 장력에 있습니다. 스태리얼리아, 139 (2017년): 63-66
  • 웨이종 한, 지안 장, 밍슈아이 딩, 란 Lv, 원홍왕, 광웅우, 지웨이산, 주리. 헬륨 나노버블은 소형 형상 메모리 합금의 초탄성과 나타드 시어 국산화를 강화한다. 나노 편지, 17.6 (2017): 3725-3730
  • 얀리 난, 보 리, 샹 자오, 샤오롱 송, 레이 수. 동축 압축 및 정수압을 받는 탄소 나노혼의 기계적 특성을 조사한다. 탄소, 125 (2017년): 236-244
  • Y. 덩, T. 하지일루, 디 완, N. 케라드만드, 에이 바르누쉬. 환경 스캐닝 전자 현미경에서 의 미세 캔틸레버 굽힘 테스트: 수소 의 실시간 관찰 강화 균열. 스태리얼티아, 127 (2017년): 19-23
  • Y.H. Wu, C. Wang, C.H. Hsueh, T.H. Li, C.H. 장, H.C. 첸, J.S. .C 장, J.C. 황, Z.H. Ma. Zr-Ti-Cu-Nd 금속 유리 복합재료의 미세 구조 및 기계적 특성. 합금 및 화합물의 저널, 702 (2017): 318-326
  • 두지우, 펑청예, 샤오메이 젠, 크리스토퍼 A. 슈, 타무라 노부미치, 신란 저우, 치립간. 수백 사이클에 걸쳐 순환 초탄성을 나타내는 단일 분산 CeO2-ZrO2 입자의 합성. 미국 세라믹 협회 저널, 100.9 (2017): 4199-4208
  • Zhe Fan, 치앙 리, 진 리, 시황 쉬에, 하이옌 왕, 싱항 장. Cu/비정질 CuNb 라미네이트의 인터페이스를 통해 금속 안경의 가소성을 조정합니다. 재료 연구 저널, 32.14 (2017): 2680-2689
  • Z.Y. 리앙, J.T.M 드 호슨, M.X. 황. 얼굴 중심의 입방 단일 결정인 실험 및 모델링에서 변형 트위닝에 미치는 크기 효과. 액타 스테리아, 139 (2017): 1-10
  • 2016

    실험 역학 (2016): 1-6

  • 김진우, 김준석, 하문호, 앤드류 엠 마이너, 김도향, 박은수. 높은 열 안정성과 H 대 E 비율을 가진 Mo-Ni-Si-B 금속 유리의 개발. 소재 및 디자인, 98 (2016): 31-40
  • 이정아, 브랜든 비 서, 최인철, 무영석, 야카이 자오, 제이나브 자예드, 우파드라스타 라마머티, 팅 Y. 츠이, 장재일. 나노 결정 니켈 막대 및 튜브의 시간에 따라 달라 진 나노 스케일 가소성. 스태카 Materialia, 112 (2016): 79-82
  • 케첸, 쉬케 탕, 용하이 유에, 하웨이 자오, 린 궈. 매장 된 인터페이스와 강력하고 힘든 층 나노 복합재료. ACS 나노, 10.4 (2016): 4816-4827
  • M. 포주즐로, Y.W. 장, 제이 마리안, J. 마리안, J. .M 양. 나노 구조화 이진 Mg-Al 합금의 톱니질 흐름. 스태파 Materialia, 127 (2016): 178-181
  • 누샤 케라드만다, 알레인 프란츠 크너, 마이클 마르크스, 윤덩. 이중 결정의 플라스틱 변형을 제어하는 현미경 비호환성. 액타 스테리아, 106 (2016): 219-228
  • 누리아 신카, 안나 M. 빌라델, 세르기 도스타, 아마데우 콘커스텔, 아이린 가르시아 카노, 호셉 마리아 길레마니, 소니아 에스트라데, 알리시아 루이스, 프란체스카 페이로. 나노 결정 적 생리 활성 코팅을 얻기위한 새로운 대안 : 콜드 가스 살포에 의해 하이드록샤 파티트 증착 메커니즘의 연구. 미국 세라믹 협회 저널, 99.4 (2016): 1420-1428
  • P.J. Imrich, C. 키르클레히너, G. 뎀. Cu 미세 기둥의 변형 거동에 경사 쌍둥이 경계의 영향. 재료 과학 및 공학: A, 642 (2016): 65-70
  • R. 프리츠, V. 마이어 키너, 디 루츠, 디 키너. 샘플 크기와 곡물 크기 간의 상호 작용: 단일 결정과 초미세 그레인 크롬 마이크로 필라. 재료 과학 및 공학: A, 674 (2016): 626-633
  • 로스티슬라프 다니엘, 마이클 마인들후머, 야쿠브 잘레삭, 베른하르트 사토리, 안젤리카 자일링거, 크리스티안 미테러, 요제프 케케스. 공간 이질성에 의한 부서지기 쉬운 나노 구조 물질의 골절 인성 향상: CrN/Cr 및 TiN/SiOx 다층용 미세 기계적 증거. 소재 및 디자인, 104 (2016): 227-234
  • 로스티슬라프 다니엘, 마이클 마인들후머, 야쿠브 잘레삭, 베른하르트 사토리, 안젤리카 자일링거, 크리스티안 미테러, 요제프 케케스. 박막의 그레인 경계 설계: 여러 균열 편향 강화에 대한 기울어진 부서지기 쉬운 인터페이스를 사용합니다. 액타 스테리아, 122 (2016): 130-137
  • 세무스 오즈덴, 찬드라 세카르 티와리, 자야누 야오, 구스타보 브루네토, 산짓 보믹, 시드 아시프, 로버트 바타이, 풀리켈 M. 아자얀. 높은 강성을 가진 고도로 정렬된 탄소 기반 나노스피어. 탄소, 105 (2016년): 144-150
  • 세무스 오즈덴, 양양, 찬드라 세카르 티와리, 산짓 보믹, 시드 아시프, 예브게니 S. 페네프, 보리스 I. 야콥슨, 풀리켈 M. 아자얀. 들여쓰기 테스트는 나노튜브 접합의 기하학 조절 경화를 보여줍니다.
  • 나노 편지, 16.1 (2016): 232-236
  • 완준 카오, 크리스 마블, 데니스 인, 유야오 장, 파트릭 캔트웰, 마틴 해머, 지안 루오, 리처드 빈치. 미세 구조, 골절 형태 및 나노 결정성 Ni-W 합금의 골절 인성 사이의 상관 관계. 스태카 Materialia, 113 (2016): 84-88
  • 샤오 메이 젠, 앨런 라이, 치 립 간, 크리스토퍼 A. 슈. 지르코니아 기반 형상 메모리 세라믹에서 스트레스 유발 마르텐시틱 변환의 결정 방향 의존성. 액타 스테리아, 116 (2016년): 124-135
  • 샤오유니, 줄리아 R. 그리어, 카우식 Bhattacharya, 리처드 디 제임스, 시안 첸. 순환 응력 유발 단계 변환에서 소규모 Au30Cu25Zn45의 탁월한 탄력성. 나노 편지, 16.12 (2016): 7621-7625
  • Y. N. 아부슬레이만, K. L. 헐, Y. 한, G. 알-문타샤리, P. 호세만, S. 파커, C.B. 하워드. 케로겐이 풍부한 셰일의 세분화된 및 폴리머 복합 특성. 액타 지오테크니카, 11.3 (2016년): 573-594
  • 김유빈, 백진욱, 김성환, 김상민, 류승화, 전석우, 한승민. 방사능 바나듐-그래핀 나노층 복합체. 과학 보고서, 6 (2016)
  • 2015

    기계적 특성에 대한 탈구 더미의 중요성과 마이크로 칸틸레버의 Bauschinger 효과.
    재료 연구 저널, 30.6 (2015): 791-797

  • 루이 황, 칭지 리, 장지왕, 링 황, 주 리, 에반 마, 지웨이 산. 서브미크론 BCC 단결정의 유동 응력: 샘플 크기 의존형 변형률 감도 및 속도 의존 크기 강화. 재료 연구 편지, 3.3 (2015)
  • 최원석, 브루노 시 드 쿠만, 스테파니 산들뢰베, 디크 라베. 트위닝 유도 가소성 강철 마이크로 기둥의 부분 탈구 매개 변형의 크기 및 방향 효과. 액타 Materialia, 98 (2015): 391-404
  • 2014

    자료 편지, 131 (2014): 313-316

  • 다카하시 요시마사, 콘도 히카루, 니미미 히로노부, 노쿠오 다케시, 스즈키 토시아키. 집중 이온 빔에 의해 처리된 단결정 실리콘 캔틸레버의 골절 강도 분석. 센서 및 액추에이터 A: 물리적, 2014년(2014년): 81-87
  • 2013

    2012

    2011

    마이크로 필러 압축 시 정량적 응력/변형 매핑. 철학 잡지, 91.7-9 (2011): 1097-1107

    2008 - 2010

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