探针式轮廓仪

DektakXT探针式轮廓仪

探针式轮廓仪(台阶仪)的金牌行业标准
DektakXT

亮点

Dektak XT探针式轮廓仪

DektakXT®探针式轮廓仪采用革命性的台式设计,可实现 4Å (0.4nm) 的无与伦比的重复性,扫描速度可提高 40%。探针式轮廓仪性能的这一重大里程碑是 Dektak® 五十多年创新和行业领导地位的顶峰。DektakXT 结合了行业第一的技术和设计,可提供极致的性能、易用性以及价值,实现从研发到质量控制的更好过程监控。DektakXT 的技术突破为微电子、半导体、太阳能、高亮度 LED、医疗和材料科学行业的关键尺寸的纳米级表面测量提供支持。

重复性
提供业界领先的精度。
单拱门
设计
提供突破性的扫描稳定性。
自对齐
探针
实现轻松的探针更换。

特点

特征

加速数据收集和分析

DektakXT 利用独特的直接驱动扫描样品台,将测量时间加快 40%,同时保持行业领先的性能。Vision64 是布鲁克的 64 位并行处理操作和分析软件,能够更快地加载 3D 形貌文件,并更快地应用筛选器和多区域数据库分析。

DektakXT 的 64 位并行处理 Vision64 在更短的时间里完成并处理大型 3D 数据文件。

提供最高重复性的测量

Dektak XT的扫描探针可实现同时大垂直范围和低力扫描。

单拱门结构设计使 DektakXT 更坚固,从而将环境噪音的影响降至最低。DektakXT 升级的"智能电子设备"可降低温度变化的影响,并采用现代处理器,最大限度地减少噪声水平,使其成为能够测量 <10nm 台阶高度的更强大的系统。

全面的操作与分析

布鲁克的 Vision64 软件通过提供最直观、最简化的用户可视化界面,加入到 DektakXT 的创新设计。智能架构和可自定义自动化功能相结合,可实现快速、全面的数据收集和分析。无论您是使用分析脚本对单个扫描结果进行分析,还是应用自定义筛选器设置和计算,DektakXT 的数据分析器都能显示当前分析结果,同时显示其他可能的分析工具。

DektakXT 的 Vision64 显著简化并加快了操作和数据分析。

让事情变得简单

DektakXT 具有最快、最简单的换针流程。可提供各种探针,以满足最广泛的应用。

DektakXT 的自对齐探针组件允许用户快速轻松地更换不同探针,同时消除换针中的任何潜在风险。布鲁克提供最广泛的探针尺寸和形状,几乎满足任何应用需求。

确保高通量测试

DektakXT 能够快速轻松地设置和运行自动化的多样品测量模式,以无与伦比的可重复性验证整个晶圆表面薄膜的精确厚度。这种有效的监控可以通过提高测试通量来节省宝贵的时间和金钱。

DektakXT 对复合电路板进行3D扫描

网络研讨会

反馈

推荐

听听客户怎么说

我是布鲁克探查器的长期所有者。我的第一个是德克塔克 6 手写笔浮量计大约 20 年前, 然后一个德克塔克 150, 其次是 Contourgt 光学探查器, 最近一个德克塔克 XT。更重要的是,所有这些机器仍然工作!它们只是"工作马",日复一日地提供精细、准确的测量,停机时间极小。作为多用户设施的经理,我为这些年与布鲁克的合作关系感到高兴。成百上千的学生已经用过这些机器,几千次了。这充分证明这些探查器是强大、可靠和友好的平台。

耶路撒冷希伯来大学纳米制造负责人西蒙·埃利亚夫博士

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