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Sistema de Análisis criogénico de Silicio

CryoSAS

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Características

Sistema de Análisis Criogénico de Silicio

El sistema de análisis criogénico de silicio (CryoSAS) de Bruker Optics es un sistema todo en uno dedicado para el análisis de impurezas de silicio a baja temperatura (< 15ºK). CryoSAS está optimizado para su funcionamiento en el entorno industrial.

CryoSAS combina los espectrómetros FT-IR de alto rendimiento de Bruker con un sistema de enfriamiento criogénico de ciclo cerrado que no requiere helio líquido. Todos los componentes de CryoSAS son de última generación, pero utilizan tecnologías probadas para lograr un análisis difícil en el exigente entorno de producción de silicio. CryoSAS se puede operar con un alto nivel de automatización, incluyendo informes precisos de los resultados del análisis.

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Sus características más relevantes son:

 

Alta sensibilidad:

CryoSAS analiza impurezas superficiales (por ejemplo, boro, fósforo, etc.) hasta el nivel de ppta según la norma ASTM/SEMI MF1630. Además, analiza simultáneamente el carbono y el oxígeno hasta el nivel de ppba según la norma ASTM/SEMI MF1391.

 

Resultados de medición de CryoSAS para carbono (ver arriba), así como para boro y fósforo (ver abajo) a bajas temperaturas (12ºK).

 

Sistema de refrigeración criogénica de ciclo cerrado: no se necesitan criogenos líquidos caros

Sistema de enfriamiento criogénico de ciclo cerrado altamente fiable para el enfriamiento del detector y la cámara de muestras. En comparación con un sistema de refrigeración con helio líquido, el sistema de ciclo cerrado puede ahorrar hasta 50.000 euros de costes de operación al año.

Compartimiento de muestras de baja temperatura CryoSAS con portamuestras automatizado de 9 posiciones.
Pantalla de software principal de CryoSAS que visiualiza las muestras cargadas actualmente y los métodos de análisis elegidos.

Diseño de cámara de muestra de acero inoxidable:

fácil acceso a la muestra

Cámara de muestras de diseño probado con óptica estacionaria y cabezal de muestra automatizado. El gran diámetro interior de la cámara de muestras permite un fácil acceso al portamuestras.

 

Bomba previa seca y bomba turbo:
funcionamiento simple y limpio del sistema de vacío

Evacuación rápida y fiable a través de bomba turbodrag y bomba en seco previa.

 

Robusta platina de precisión con motor paso a paso y soporte de muestras con nueve posiciones:

La robusta platina móvil interconectada al portamuestras permite realizar múltiples análisis de muestras. El motor de alto par y el mecanismo de traslación proporcionan una inserción precisa de la muestra y gran fiabilidad durante muchos años. Las muestras son fáciles de insertar y quitar y el portamuestras se fija fácilmente en la cámara de muestras. El diseño del portamuestras en cobre OFHC con recubrimiento de oro garantiza una temperatura uniforme.

 

Facilidad de uso:

CryoSAS ha sido optimizado para su funcionamiento en el entorno industrial. Todos los dispositivos de vacío y refrigeración están controlados por un PLC. Enfriar e iniciar la medición es tan simple como apretar un botón. El usuario NO tiene que ser un experto en espectroscopía o en sistemas de vacío.

El software dedicado del CryoSAS está diseñado para satisfacer las necesidades de control de calidad en la industria. Es fácil de usar y se puede operar a través de la pantalla táctil. El usuario simplemente tiene que elegir el método de análisis deseado, introducir la información de las muestras y pulsar el botón de inicio.  CryoSAS enfriará automáticamente las muestras, realizará la medición infrarroja, evaluará los resultados y creará un informe del análisis.

 

Especificaciones

Rango espectral: 1500 – 280 cm-1 optimizado para la detección de

  • impurezas superficiales del grupo III y V en Si monocristalino según ASTM/SEMI MF1630. Para muestras con un espesor de aprox.
    3 mm, se pueden alcanzar los siguientes límites de detección:
    - 10 ppta Fósforo
    - 30 ppta Boro
  • carbono sustitutivo según ASTM/SEMI
    MF1391. Este método requiere una muestra de referencia FZ libre de carbono con propiedades de espesor y superficie comparables a la muestra de interés. Para una muestra con un espesor de aprox. 3 mm, se pueden detectar concentraciones de carbono de hasta 20 ppba.
 
Informe de análisis típico de CryoSAS que incluye toda la información y los resultados relevantes.