극저온 실리콘 분석 시스템

CryoSAS

CryoSAS Silicon Analyzer

특징

극저온 실리콘 분석 시스템

브루커 옵틱스의 극저온 실리콘 분석 시스템(CryoSAS)은 실리콘의 저온(&15 K) 불순물 분석을 위한 전용 올인원 시스템입니다. CryoSAS는 산업 환경에서의 운영에 최적화되어 있습니다.

CryoSAS는 브루커의 고성능 FT-IR 분광기와 액체 헬륨이 필요하지 않은 내장된 폐쇄 사이클 냉동 냉각 기술을 결합합니다. 모든 CryoSAS 구성 요소는 최첨단 구성 요소이지만 입증 된 기술을 활용하여 까다로운 실리콘 생산 환경에서 어려운 분석을 수행합니다. CryoSAS는 분석 결과의 정확한 보고를 포함하여 자동화의 높은 수준에서 작동할 수 있습니다.

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특징은 다음과 같습니다:

고감도:

CryoSAS는 ASTM/SEMI MF1630 표준에 따라 얕은 불순물(예: 붕소, 인 등)을 낮은 ppta 수준으로 분석합니다. 또한 ASTM/SEMI MF1391 표준에 따라 탄소와 산소를 낮은 ppba 수준으로 동시에 분석합니다.

저온(~12K)에서 탄소(위 참조)와 붕소 및 인(아래 참조)에 대한 CryoSAS 측정 결과.

폐사이클 극저온 냉동 시스템: 고가의 액체 저온물질 필요 없음

검출기 및 샘플 챔버 냉각을 위한 매우 신뢰할 수 있는 폐쇄 사이클 냉동 냉각 시스템. 액체 헬륨 냉각 냉장 시스템에 비해, 폐쇄 사이클 시스템은 연간 50,000 € 운영 비용을 절약 할 수 있습니다 더 많은.

자동 9 위치 샘플 홀더와 극저온 샘플 구획.
현재 로드된 샘플과 선택한 분석 방법을 표시하는 CryoSAS 메인 소프트웨어 화면입니다.

스테인레스 스틸 샘플 챔버 디자인:
간편한 샘플 액세스

고정 광학 및 자동화 된 샘플 헤드와 입증 된 샘플 챔버 설계. 샘플 챔버의 큰 내부 직경은 쉽게 샘플 홀더 액세스를 할 수 있습니다.

드라이 포어 펌프 및 터보 펌프:
간단하고 깨끗한 진공 시스템 작동

터보 드래그 펌프와 드라이 포어 펌프를 통해 빠르고 신뢰할 수있는 대피.

9개의 위치 샘플 홀더가 있는 견고하고 정밀한 스테퍼 모터 스테이지:

샘플 홀더에 인터페이스된 견고한 번역 스테이지는 여러 샘플 분석을 허용합니다. 높은 토크 모터와 솔리드 번역 메커니즘은 정확한 샘플 인덱싱과 수년간의 신뢰할 수 있는 기능을 제공합니다. 샘플은 설치 및 제거하기 쉽고 샘플 홀더는 샘플 챔버에 부착하기가 거의 쉽습니다. 샘플 홀더의 금 코팅 OFHC 구리 디자인은 균일한 온도를 보장합니다.

사용 편의성:

CryoSAS는 산업 환경에서의 운영에 최적화되어 있습니다. 모든 진공 및 냉동 장치는 PLC에 의해 제어됩니다. 냉각 및 측정을 시작하는 것은 간단한 푸시 버튼 작동입니다. 사용자는 분광 전문가 또는 진공 전문가일 필요가 없습니다.

전용 CryoSAS 소프트웨어는 산업 품질 관리의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 사용하기 쉽고 터치 스크린을 통해 조작 할 수 있습니다. 사용자는 단순히 원하는 분석 방법을 선택하고 샘플 정보를 입력하고 시작 버튼을 눌러야합니다.  그런 다음 CryoSAS는 자동으로 샘플을 냉각하고 적외선 측정을 시작하고 결과를 평가하고 분석 보고서를 만듭니다.

사양

스펙트럼 범위: 1500 – 280cm-1의 검출에 최적화

  • ASTM/SEMI MF1630에 따른 단결정 시주석의 그룹 III 및 V 얕은 불순물.  약 두께의 쐐기 샘플의 경우.
    3mm, 다음 탐지 제한에 도달 할 수 있습니다 :
    - 10 ppta 인
    - 30 ppta 붕어
  • ASTM/SEMI에 따른 대체 탄소
    MF1391. 이 방법은 샘플 시편과 유사한 두께 및 표면 특성을 가진 탄소 없는 FZ 참조 샘플이 필요합니다. 두께가 약 3mm인 쐐기 시료의 경우 탄소 농도가 20 ppba까지 검출될 수 있습니다.
 
모든 관련 정보와 결과를 포함하는 일반적인 CryoSAS 분석 보고서.