System kriogeniczny do analizy krzemu

CryoSAS

CryoSAS Silicon Analyzer

Cechy charakterystyczne

System kriogeniczny do analizy krzemu

System kriogeniczny do analizy krzemu (CryoSAS) firmy Bruker Optics to dedykowany system all-in-one do analizy zanieczyszczeń krzemu w niskiej temperaturze (< 15 K). CryoSAS jest zoptymalizowany pod kątem pracy w środowisku przemysłowym.

CryoSAS łączy wysokowydajne spektrometry FT-IR firmy Bruker z wbudowaną techniką chłodzenia kriogenicznego w cyklu zamkniętym, która nie wymaga ciekłego helu. W CryoSAS wykorzystywane są najnowocześniejsze komponenty, ale wykorzystujące sprawdzone technologie, aby wykonać trudną analizę w wymagającym środowisku produkcji krzemu. CryoSAS może być obsługiwany na wysokim poziomie automatyzacji, łącznie z dokładnym raportowaniem wyników analizy.

Skontaktuj się z naszym zespołem sprzedaży już dziś, aby dowiedzieć się więcej o CryoSAS!

Wybrane cechy:

 

Wysoka czułość:

CryoSAS analizuje płytkie zanieczyszczenia (np. bor, fosfor itp.) do niskiego poziomu ppta zgodnie z normą ASTM/SEMI MF1630. Ponadto, analizuje jednocześnie węgiel i tlen do niskiego poziomu ppba zgodnie z normą ASTM/SEMI MF1391.

 

Wyniki pomiarów CryoSAS dla węgla (patrz wyżej) oraz boru i fosforu (patrz poniżej) w niskich temperaturach (~12 K).

Kriogeniczny system chłodzenia o zamkniętym cyklu: nie potrzeba kosztownych kriogenów płynnych

Wysoce niezawodny system kriochłodzącego cyklu zamkniętego do chłodzenia detektora i komory próbki. W porównaniu z płynnym systemem chłodniczym chłodzonym helem, system zamkniętych cykli może zaoszczędzić 50 000 € kosztów eksploatacji rocznie, a nawet więcej.

Komora na próbki o niskiej temperaturze CryoSAS ze zautomatyzowanym 9-pozycyjnym uchwytem na próbki.
Główny ekran oprogramowania CryoSAS wyświetlający aktualnie załadowane próbki i wybrane metody analizy.

Konstrukcja komory pomiarowej ze stali nierdzewnej:
łatwy dostęp do próbek

Sprawdzona konstrukcja komory pomiarowej z optyką stacjonarną i zautomatyzowaną głowicą próbki. Duża średnica wewnętrzna komory pomiarowej umożliwia łatwy dostęp do uchwytu próbki.

 

Sucha pompa wstępna i pompa turbo:
prosta i czysta praca systemu próżniowego

Szybkie i niezawodne odpompowanie próżni za pomocą pompy turbo i suchej pompy wstępnej.

 

Solidny, precyzyjny stolik z silnikiem krokowym, z dziewięciopozycyjnym uchwytem na próbki:

Solidny stolik połączony z uchwytem na próbki umożliwia analizę wielu próbek. Silnik o wysokim momencie obrotowym i solidny mechanizm przesuwu zapewniają precyzyjne indeksowanie próbek i lata niezawodnej funkcjonalności. Próbki są łatwo umieszczane i usuwane, a uchwyt na próbki jest w prosty sposób umieszczany w komorze pomiarowej. Pozłacana, OFHC miedziana konstrukcja uchwytu na próbki zapewnia jednolite temperatury.

 

Łatwość użycia:

CryoSAS jest zoptymalizowany pod kątem pracy w środowisku przemysłowym. Wszystkie urządzenia próżniowe i chłodnicze są sterowane przez sterownik PLC. Chłodzenie i rozpoczęcie pomiaru odbywa się za naciśnięciem przycisku. Użytkownik NIE musi być ekspertem od spektroskopii lub próżni.

Dedykowane oprogramowanie CryoSAS zostało zaprojektowane tak, aby zaspokoić potrzeby przemysłowej kontroli jakości. Jest łatwe w użyciu i może być obsługiwane za pomocą ekranu dotykowego. Użytkownik musi tylko wybrać żądaną metodę analizy, wprowadzić przykładowe informacje i nacisnąć przycisk start.  CryoSAS automatycznie ochłodzi próbki, rozpocznie pomiar w podczerwieni, oceni wyniki i stworzy raport z analizy.

 

Specyfikacje

Zakres spektalny: 1500 – 280 cm-1 zoptymalizowany do wykrywania

  • grupy III i V płytkie zanieczyszczenia w pojedynczym krysztale Si zgodnie z ASTM/SEMI MF1630.  Dla próbek zaklinowanych o grubości ok.
    3 mm, można osiągnąć następujące limity wykrywalności:
    - 10 ppta fosfor
    - 30 ppta bor
  • węgla substytucyjnego zgodnie z ASTM/SEMI
    MF1391. Metoda ta wymaga bezwęglowej próbki referencyjnej FZ o grubości i właściwościach powierzchni porównywalnych z badaną próbką. W przypadku próbki zaklinowanej o grubości około 3 mm można wykryć stężenie węgla do 20 ppba.
 
Typowy raport z analizy CryoSAS, zawierający wszystkie istotne informacje i wyniki.