Système d’analyse cryogénique du silicium

CryoSAS

CryoSAS Banner

Caractéristiques

Système d’analyse cryogénique du silicium

Le système CryoSAS (Cryogenic Silicon Analysis System) est un ensemble complet qui permet d'analyser les impuretés du silicium à basse température(<15K). Le CryoSAS a été optimisé en vue d'un fonctionnement en milieu industriel.

Le CryoSAS associe un spectromètre IRTF performant intégré et un ensemble de refroidissement en circuit fermé sans apport d'hélium liquide. Le CryoSAS intègre des composants à la pointe de la technologie qui afin de faire des analyse de silicium dans un milieu exigeant. Le CryoSAS est opérationnel dans une automatisation élevé en incluant la production de rapports précis sur les résultats de chaque analyse.

Contactez votre équipe commerciale pour en apprendre plus sur le CryoSAS!

Fonctionnalités :

 

Grande sensibilité :

Le CryoSAS analyse les impuretés superficielles (exemples : bore, phosphore, etc.) jusqu'au niveau du PPTA, en conformité avec la norme ASTM/SEMI MF1630.

En complément, il analyse le carbone et l'oxygène jusqu'au niveau du PPBA, en conformité avec la norme ASTM/SEMI MF1391.

 

Résultats des mesures effectuées avec le CryoSaS pour le carbone (voir ci-dessus) ainsi que pour le bore et le phosphore (voir ci-dessous) à basse température (~12 K).

 

Système de réfrigération en cycle fermé : pas de liquide de refroidissement nécessaire

Système très fiable de refroidissement en circuit fermé pour refroidir le détecteur et l'échantillon. Par rapport à un système de réfrigération à l'hélium liquide, ce dispositif en circuit fermé permet d'économiser, sur le plan opérationnel, 50 000 € par an, voire plus.

Compartiment échantillon à basse température cryoSAS avec un support échantillon automatisée de 9 positions.
Logiciel du CRYOSAS affichant les échantillons actuellement chargés et les méthodes d’analyse choisies.

Conception de chambre d’échantillon en inox :

Un accès facile pour les échantillons

La conception de la chambre à échantillon est approuvée avec son optique fixe et la tête d'échantillonnage automatisée. Le diamètre intérieur important de la chambre échantillon permet d'accéder facilement au plateau porte-échantillon.

 

Pompe primaire sèche et pompe turbo :
fonctionnement en circuit sous vide simple et propre

Évacuation rapide et fiable grâce à la pompe turbo et à la pompe primaire sèche.

 

Table motorisée pas à pas de haute précision et un porte échantillon de neuf positions :

Cette table motorisée robuste interfacée avec le porte-échantillon permet d'analyser plusieurs échantillons. Le moteur à couple élevé et de translation robuste offre un positionnement précis des échantillons pour un fonctionnement fiable sur plusieurs années. Le positionnement ( installation et retrait) des échantillons est simple et le porte-échantillon se fixe sans effort dans la chambre échantillon. La conception en cuivre OFHC enduit d'or du porte-échantillon garantit des températures uniformes.

 

Facilité d’utilisation :

Le CryoSAS est optimisé pour le fonctionnement dans un cadre industriel. Tous les dispositifs sous vide et de réfrigération sont placés sous le contrôle d'un centre de supervision programmable PLC. Le refroidissement et le démarrage des mesures se font en appuyant tout simplement sur un bouton-poussoir.
L'utilisateur n'a pas besoin d'être un expert en spectroscopie ou en technique du vide.
Le logiciel dédié du CryoSAS est conçu pour respecter toutes les demandes du contrôle-qualité industriel.
Il s'utilise très facilement et fonctionne par le biais d'un écran tactile. Il suffit que l'utilisateur choisisse la méthode d'analyse souhaitée puis saisis les informations sur l'échantillon pour finalement appuyer sur le bouton de démarrage.
Le CryoSAS refroidit automatiquement les échantillons, lance la mesure et évalue les résultats et finalement crée un rapport d'analyse.

 

Caractéristiques techniques

Gamme spectrale : 1500 – 280 cm-1 optimisé pour détecter

  • les impuretés superficielles des groupes III et V dans un monocristal de Si, en conformité avec la norme ASTM/SEMI MF1630. 

En ce qui concerne les échantillons biseautés qui ont une épaisseur   d'environ 3 mm, les limites suivantes de détection peuvent être atteintes:
          - 10 ppta pour le phosphore
          - 30 ppta pour le bore

  • carbone de substitution , en conformité avec la norme ASTM/SEMI
    MF1391.

Cette méthode exige un échantillon de référence FZ exempt de carbone dont l'épaisseur et les propriétés en surface sont comparables à celles de l'échantillon.
Sur un échantillon biseauté d'une épaisseur d'environ 3 mm, il est ainsi possible de détecter des concentrations en carbone pouvant descendre à 20 ppba.

 
Rapport d’analyse type comprenant toutes les informations et résultats.