Криогенная система анализа кремния

CryoSAS

CryoSAS Silicon Analyzer

Особенности

Криогенная система анализа кремния

Криогенная силиконовая система анализа кремния Bruker Optics (CryoSAS) — это специальная система «все-в-одном» для анализа примесей кремния с низкой температурой (Lt; 15 K). CryoSAS оптимизирован для работы в промышленной среде.

CryoSAS сочетает в себе высокую производительность спектрометров Bruker FT-IR со встроенной крио-охлаждением замкнутого цикла, которая не требует жидкого гелия. Все компоненты CryoSAS являются самыми передовыми, но используют проверенные технологии для выполнения сложного анализа в сложной среде производства кремния. CryoSAS может работать на высоком уровне автоматизации, включая точную отчетность о результатах анализа.

Свяжитесь с нашей командой продаж сегодня, чтобы узнать больше о CryoSAS!

Особенности включают в себя:

Высокая чувствительность:

CryoSAS анализирует мелкие примеси (например, бор, фосфор и т.д.) до низкого уровня ppta в соответствии со стандартом ASTM/SEMI MF1630. Кроме того, он одновременно анализирует углерод и кислород до низкого уровня ppba в соответствии со стандартом ASTM/SEMI MF1391.

Результаты измерений CryoSAS по углероду (см. выше), а также по бору и фосфору (см. ниже) при низких температурах (12 К).

Криогенная система охлаждения замкнутого цикла: не нужны дорогие жидкие криогены

Высоко надежная система крио-охлаждения замкнутого цикла для детектора и охлаждения выборочных камер. По сравнению с жидкой системой охлаждения гелия, система замкнутого цикла может сэкономить 50 000 евро эксплуатационных расходов в год и даже больше.

Низкотемпературное отделение для размещения образцов оснащается 9-и позиционным автоматическим держателем.
Основной экран программного обеспечения CryoSAS, отображающий загруженные в настоящее время образцы и выбранные методы анализа.

Дизайн камеры образца из нержавеющей стали:
легкий доступ к выборке

Проверенная конструкция камеры образца со стационарной оптикой и автоматизированной головой образца. Большой внутренний диаметр выборочных камер обеспечивает легкий доступ держателя образца.

Безмасляный турбомолекулярный насос:
высокая степень вакуумизации системы

Быстрая и надежная вакуумизация с помощью безмасляного турбомолекулярного насоса.

 

Надежная, точная ступень двигателя с 9 держателем образца положения:

Прочная стадия перевода, мехаемая по образцу, позволяет проводить анализ нескольких образцов. Двигатель с высоким крутящим моментом и прочный механизм перевода обеспечивают точную индексацию выборки и годы надежной функциональности. Образцы легко установить и удалить, и держатель образца почти без усилий, чтобы прикрепить в камере образца. Золотой покрытием OFHC медный дизайн образца держателя обеспечивает единую температуру.

Простота использования:

CryoSAS оптимизирован для работы в промышленной среде. Все вакуумные и холодильные устройства контролируются PLC. Охлаждение и начало измерения является простой работы кнопки нажатия. Пользователь не должен быть экспертом по спектроскопии или экспертом по вакууму.

Специализированное программное обеспечение CryoSAS предназначено для удовлетворения потребностей промышленного контроля качества. Он прост в использовании и может управляться с помощью сенсорного экрана. Пользователь просто должен выбрать нужный метод анализа, ввести выборку информации и нажать кнопку "Пуск".  Затем CryoSAS автоматически охлаждает образцы, начинает инфракрасное измерение, оценивает результаты и создает аналитический отчет.

Спецификации

Спектральный диапазон: 1500 - 280 см-1 оптимизирован для обнаружения

  • группа III и V мелкие примеси в одном кристалле Si в соответствии с ASTM/SEMI MF1630.  Для вклинивается образцов с толщиной около.
    3 мм, следующие пределы обнаружения могут быть достигнуты:
    - 10 ppta Фосфор
    - 30 ppta Бор
  • заместительного углерода в соответствии с ASTM/SEMI
    MF1391. Этот метод требует безуглеродного эталонного образца СЗ с толщиной и свойствами поверхности, сопоставимыми с образцом образца. Для заклинило образца с толщиной около 3 мм, концентрации углерода до 20 ppba могут быть обнаружены.
 
Типичный отчет по анализу CryoSAS, включающий всю соответствующую информацию и результаты.