Gleichzeitige Erfassung chemischer und kristallographischer Informationen im REM mit einzigartigen On-Axis-Detektoren

Schnellste simultane TKD- und EDS-Messungen

Brukers einzigartiger XFlash^® FlatQUAD EDS-Detektor mit einem enormen Raumwinkel von bis zu 1,1 sr kann gleichzeitig mit OPTIMUS 2 zur Aufnahme von Mappings, die chemische Informationen und Kristallorientierungsdaten elektronentransparenter Proben enthalten, verwendet werden. Die Aufnahmen erfolgen mit bisher unerreichter räumlicher Auflösung und unübertroffener Geschwindigkeit.

Exakte quantitative EDS-Analysen können mit Methoden durchgeführt werden, die für elektronentransparente Proben entwickelt wurden:

Cliff-Lorimer-Faktor-Methode
Zeta-Faktor-Methode

Kombinierte EDS- und TKD-Messungen eignen sich ideal zur Charakterisierung wenig bekannter Proben, die mehrere kristallographische Phasen, z. B. Ausscheidungen und/oder Einschlüsse, enthalten. Der kombinierte Datensatz kann höchst effizient für die Offline-Phasenidentifizierung und -neuanalyse verwendet werden. Dieser Effizienzgewinn wird durch die Fähigkeit von ESPRIT 2 ermöglicht bis zu 60.000 Kikuchi Pattern/Sek. indizieren zu können.

Detektor-Probengeometrie für simultane On-Axis TKD- und EDS-Mapping mit XFlash FlatQUAD EDS-Detektor (oben), OPTIMUS 2-Detektorkopf (unten) und TKD-Probenhalter (Mitte)

XFlash FlatQUAD EDS-Detektor mit vier SDD-Chip-Layout sowie Histogramm zur Variation des Raumwinkels aufgrund des Abstands zwischen SDD-Chips und Probe

Hellfeld-ähnliches Bild einer Oxid-Dispersions-gehärteten (ODS) Stahlprobe; es zeigt Titanoxidpartikel (hellgrau) und Yttrium-reiche Titanoxidpartikel (dunkelgrau) in einer Matrix aus Ferritkörnern. Das Bild wurde in 3 s mit 5 nA Strahlstrom und 20 kV Beschleunigungsspannung aufgenommen.

Pattern Quality-Map einer TKD-Messung, die gleichzeitig mit einem EDS-HyperMap mit einer Geschwindigkeit von 272 Punkten/Sek. durchgeführt wurde. Der Datendurchsatz für diese Messung betrug 1 Mcps.

EDS-HyperMap mit Ti-Verteilung (normalisierte Atom%)

EDS-HyperMap mit Y-Verteilung (normalisierte Masse%)

Abschließendes Phasenverteilungs-Mapping (TKD-Ergebnisse) nach Offline-Phase-ID und Neuanalyse. Ferritmatrix in rot, Titanoxidpartikel in grün und Yttrium-reiche Titanoxidpartikel in blau dargestellt.

Mapping der Orientierungsverteilung (IPFz) mit entsprechendem Farbschema für jede kristallographische Phase