독특한 온축 검출기를 사용하여 SEM에서 결정및 원소 정보의 동시 획득
가장 빠른 동시 TKD 및 EDS 측정
최대 1.1sr의 초고체 각도를 갖춘 브루커의 고유한 XFlash® FlatQUAD EDS 검출기는 OPTIMUS 2와 동시에 사용할 수 있으며, 전자 투명 샘플에서 화학 물질및 각각 결정 방향 데이터를 포함하는 맵을 획득하는 데 탁월한 공간 해상도와 속도를 제공합니다.
전자 투명 시료를 위해 설계된 방법을 사용하여 정확한 정량적 EDS 분석을 수행할 수 있습니다.
- 클리프 로리머 팩터 방법
- 제타 계수 방법
결합된 EDS 및 TKD 측정은 침전및/또는 포함과 같은 다중 결정적 단계를 포함하는 거의 알려지지 않은 샘플을 특성화하는 데 이상적입니다. 결합된 데이터 집합은 최대 60,000개의 패턴/초를 인덱싱하는 ESPRIT 2의기능으로 인해 뛰어난 효율성 향상으로 오프라인 위상 식별 및 재분석에 사용할 수 있습니다.
XFlash FlatQUAD EDS 검출기(상단), 옵티머스 2 검출기 헤드(아래쪽) 및 TKD 샘플 홀더(가운데)를 사용하여 동시 축 TKD 및 EDS 매핑을 위한 검출기 샘플 지오메트리
XFlash FlatQUAD EDS 검출기 4개의 SDD 칩 레이아웃과 SDD 칩과 샘플 사이의 거리와 함께 고체 각도 변화를 보여주는 히스토그램
산화물 분산 강화(ODS) 강철 시료에서 획득한 BF와 같은 이미지는 페리트 곡물 매트릭스에 산화물 입자(밝은 회색)와 Yttrium이 풍부한 티타늄 산화물 입자(다크 그레이)를 보여주는 것입니다. 이미지는 5nA 프로브 전류 와 20 kV 가속 전압을 사용하여 3s로 획득되었습니다.
272 포인트 /초의 속도로 EDS 하이퍼맵과 동시에 획득 한 TKD 맵의 패턴 품질맵 표현. 이 측정의 처리량 수비율은 ~1Mcps였습니다.
TI 분포를 보여주는 EDS 하이퍼맵 (정규화 된 원자%)
Y 분포를 보여주는 EDS 하이퍼맵(정규화된 질량%)
오프라인 단계 ID 및 재분석 후 최종 단계 분포 맵(TKD 결과). 페릿 매트릭스는 빨간색으로 표시되고, 산화 티타늄 입자는 녹색으로 표시되고 Yttrium이 풍부한 산화티타늄 입자는 파란색으로 표시됩니다.
각 결정 단계에 대한 방향 분포 맵(IPFz) 및 해당 착색 구성표