X플래시 플랫쿼드
최신 검출기 기술 사용
콴탁스 플랫쿼드의핵심인 XFlash® 플랫쿼드는 새로운 검출기 개념을 기반으로 합니다. 여기에는 극 조각과 샘플 사이의 측면에서 검출기를 배치하는 것이 포함됩니다. 따라서 검출기는 SEM 챔버의 수평 포트에 장착됩니다. 극 조각 아래에 거의 확장되지 않는 기존의 검출기는 경사 포트가 필요합니다. 다양한 SEM 유형과의 호환성을 보장하기 위해 검출기는 X, Y 및 Z 방향으로 정확하게 배치할 수 있습니다.
XFlash® FlatQUAD의 4개의 독립적인 실리콘 드리프트 검출기 칩은 검출기 모듈의 구멍을 둘러싼 환상배열에 있습니다. 1차 전자 빔이 개구부를 통과합니다. 이 설계는 검출기 손가락을 가능한 한 얇게 유지하려는 의도뿐만 아니라 백산재 전자가 검출기 칩에 도달하는 것을 방지하는 새로운 방법이 필요합니다. 검출기는 다양한 두께의 특수 폴리머 창을 갖추고 있습니다. 그들은 엑스레이가 통과할 수 있도록 하면서 백산전자를 흡수합니다. 폴리머 창은 진공에 영향을 주지 않고 변경할 수 있는 슬라이더에 장착됩니다. 이를 통해 검출기가 측정 위치에 있는 동안 SEM 가속 전압이 변경될 수 있습니다.
우수한 단색 각도 및 계산 속도 기능
검출기 칩의 위치와 크기(4× 15mm2 활성 면적)는 SEM에서 X선 수집을 위한 가장 큰 단색 각도를 제공합니다. 수집 효율은 매우 높은 수량 비율로 이어질 수 있습니다. 따라서 4개의 검출기 칩에는 별도의 신호 처리 채널이 장착되어 있습니다. 이를 통해 최대 4,000,000cps의 입력 수비율(ICR)과 최대 1,600,000CPS의 총 출력 수율(OCR)을 사용할 수 있습니다. XFlash® FlatQUAD는 Mn Kα에서 126 eV의 우수한 에너지 분해능과 100,000개의 cps 입력 카운트 비율(C K의 51eV, F K의 60 eV)을 제공합니다. 해상도 클래스129 eV 및 133 eV도 사용할 수 있습니다.
