XFlash® FlatQUAD 2L- 새로운 EDS 검출기
에너지 분산형 X선 분광법의 새로운 지평을 열다
XFlash FlatQUAD 2L은 신호 수집을 극대화하여 EDS의 새로운 응용 분야를 개척하는, 고리형 4채널 설계를 갖춘 독창적이고 업계를 선도하는 에너지 분산형 X선 분광법(EDS) 검출기입니다.
XFlash FlatQUAD 검출기의 최신 설계에는 중앙 홀이 확대되어, 업계 최고 수준인 4,000,000 cps의 출력 카운트 레이트에 영향을 주지 않으면서 BSE 이미징을 동시에 수행할 수 있습니다.
XFlash® FlatQUAD 2L - 까다로운 EDS 분석도 간편하게
- 나노미터 수준까지 초고해상도로 SEM-EDS를 수행하십시오.
- 높은 신호 처리량으로 원소 조성을 정량화하십시오.
- 동시에 획득한 BSE 이미지에 X선 EDS 신호를 함께 표현합니다.
- 민감하거나 전하를 띠는 시료의 원소를 분석합니다.
- 지형학적 시료의 원소 조성을 정확하게 매핑합니다.
- SEM을 사용하여 TEM과 유사한 EDS를 수행합니다.
- 저진공 및 고진공 모드에서 작동합니다.
XFlash®FlatQUAD 2는 당사의 EDS용 QUANTAX FlatQUAD 시스템의 핵심 검출기입니다.
업계 최고의 성능을 위한 독창적인 검출기 설계
XFlash FlatQUAD 2L 검출기의 독창적이고 특허받은 설계는 정량 및 정성 EDS 분석 모두에서 타의 추종을 불허하는 성능을 제공합니다.
XFlash®FlatQUAD 2L은 중앙 홀 주위에 총 면적 100 mm²의 4개의 실리콘 드리프트 검출기(SDD) 세그먼트가 고리형으로 배열된 독특한 구조를 가지고 있습니다.
이 검출기는 SEM 폴 피스와 시료 사이에 위치하며, 중앙 홀을 통해 1차 전자 빔이 방해받지 않고 통과할 수 있습니다.
이러한 구성은 기존의 EDS 검출기 기하학적 구조에 비해 입체각을 크게 증가시켜 X선 수집 효율을 향상시킵니다. 또한, 이 홀은 SEM의 BSE 검출기를 사용하여 후방 산란 전자를 효율적으로 수집할 수 있게 하여 진정한 평행 신호 획득을 가능하게 합니다.
다양한 SEM 유형과의 호환성을 보장하기 위해, XFlash®FlatQUAD 2L은 X, Y, Z 방향으로 정밀하게 위치 조정할 수 있습니다.
SEM의 1차 전자 빔이 XFlash®FlatQUAD 2L 중앙의 홀을 통과하는 방식을 보여주는 개략도.
시료에서 방출된 X선 신호는 이 홀을 둘러싼 4개의 SDD 세그먼트에 의해 수집되어 입체각과 수집 효율을 극대화하는 한편, 후방 산란 전자(파란색)는 BSE 이미징을 위해 SEM 폴 피스로 다시 통과합니다.
4,000,000 cps의 출력 카운트 레이트를 통한 효율적인 EDS 신호 수집
XFlash® FlatQUAD 2L 검출기의 직교 배치는 SEM에서 X선 수집을 위한 사상 최대의 입체각을 제공합니다.
XFlash®FlatQUAD 2L을 사용하면 특정 기하학적 조건에 따라 1 sr 이상의 Solid angles과 60° 이상의 take-off angles을 구현할 수 있어, 극히 높은 카운트 속도를 제공합니다.
4개의 검출기 칩 각각에는 독립적인 신호 처리 채널이 탑재되어 있습니다. 이를 통해 10,000,000 cps 이상의 입력 카운트 레이트(ICR)와 최대 4,000,000 cps의 합산 출력 카운트 레이트(OCR)를 달성하여 초고속 및 초고감도 EDS를 구현할 수 있습니다.
XFlash® FlatQUAD 2L은 Mn Kα에서 127 eV의 뛰어난 에너지 분해능을 제공합니다. 129 eV 및 133 eV 분해능 등급도 선택 가능합니다.
진정한 병렬 BSE 및 EDS 이미징
XFlash®FlatQUAD 2L EDS 검출기의 넓은 중앙 홀은 후방 산란 전자가 Retractable 또는 In-lens BSE 검출기로 방해받지 않고 전달되도록 합니다.
그 결과, EDS 획득과 병행하여 고해상도 BSE 이미징을 수행함으로써 조성(EDS) 및 화학적(BSE) 정보를 동시에 획득할 수 있습니다.
두께를 조절할 수 있는 특수 폴리머 검출기 윈도우를 통해 응용 분야의 요구 사항에 따라 BSE 및 X선 신호를 제어된 방식으로 분리하고 동시에 활용할 수 있습니다. 이 윈도우는 높은 X선 투과 효율을 유지하면서 후방 산란 전자의 상호 작용을 관리하도록 최적화되어 있습니다.
XFlash® FlatQUAD 2L의 응용 분야
XFlash®FlatQUAD 2L 검출기의 독특한 기하학적 구조는 까다로운 EDS 분석을 쉽게 만들어 주며, EDS 분석에 완전히 새로운 응용 분야를 열어줍니다.
- 나노 구조 시료 – 반도체 및 첨단 코팅과 같은 나노 규모의 특징을 가진 시료 분석을 위한 초고해상도.
- 비전도성 시료 – 폴리머, 세라믹, 제약 재료 등 전하 축적이 잘 되지 않는 시료에 대한 낮은 가속전압에서의 분석.
- 지형적 및 거친 시료 – 입자, 섬유, 적층 제조 부품 등 고르지 않은 표면에서 X선 수집 효율을 향상시킵니다.
- 빔에 민감한 시료 – 낮은 빔 전류에서 바이오 시료와 같은 빔에 민감한 시료의 원소 매핑이 가능합니다.
- 전자 투과성 시료 – SEM 이미징에서 STEM 활용.
QUANTAX FlatQUAD 페이지에서 XFlash®FlatQUAD 2L을 사용할 때 가능해진 다양한 EDS 응용 분야에 대해 자세히 알아보세요.
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이번 출시 웨비나에서 업계 최고의 X선 수집 효율과 병렬 BSE 이미징 기능을 독창적으로 결합한 최초의 EDS 검출기인 XFlash®FlatQUAD™ 2L을 만나보십시오.
전자 선량이 낮은 상태에서도 원소 및 콘트라스트 정보를 동시에 획득함으로써, 빔에 민감한 시료의 경우에도 더 빠른 워크플로우와 더 높은 공간 해상도를 구현할 수 있는 방법을 확인해 보십시오.
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XFlash®FlatQUAD 2L은 당사의 QUANTAX FlatQUAD 분석 시스템의 핵심을 이루는 검출기입니다.
QUANTAX FlatQUAD에는 XFlash®FlatQUAD 2L 검출기, 신호 처리 전자 장치 및 당사의 포괄적인 ESPRIT 소프트웨어 제품군을 포함하여, 신호 효율이 매우 높은 SEM EDS를 수행하는 데 필요한 모든 것이 포함되어 있습니다.