XFlash FlatQUAD
Herausragende Werte für Raumwinkel und Zählraten
Der XFlash® FlatQUAD, das Herzstück von QUANTAX FlatQUAD Paket, basiert auf einem neuartigen Detektorkonzept. Dazu gehört auch die Positionierung des Detektors zwischen Polschuh und Probe, wobei der Detektor an einem horizontalen Port an der REM-Kammer montiert ist. Im Vergleich dazu benötigen herkömmliche Detektoren, die sich selten unterhalb des Polschuhes befinden, einen geneigten Port. Um die Kompatibilität mit vielen verschiedenen REM-Typen zu gewährleisten, kann der Detektor präzise in X-, Y- und Z-Richtung positioniert werden.
Die vier unabhängigen Silizium-Driftdetektor-Chips des XFlash® FlatQUAD sind ringförmig um ein zentrales Loch im Detektormodul angeordnet. Der primäre Elektronenstrahl kann so durch diese Öffnung hindurch ohne Einschränkung die Probe erreichen. Dieses Design sowie die Absicht, den Detektorfinger so dünn wie möglich zu halten, erfordern eine neue Methode, um zu verhindern, dass rückgestreute Elektronen die Detektorchips erreichen. Der Detektor ist daher mit speziellen Polymerfenstern unterschiedlicher Dicke ausgestattet. Sie absorbieren die zurückgestreuten Elektronen und lassen gleichzeitig Röntgenstrahlen passieren. Die Polymerfenster sind auf einem Schiebemechanismus montiert, welcher es ohne das Vakuum zu beeinträchtigen ermöglicht diese zu wechseln. Dies erlaubt die Änderung der Beschleunigungsspannung des REMs, während sich der Detektor in Messposition befindet.
Hervorragende Festwinkel- und Zählrate-Fähigkeit
Die Kombination von Position und Größe (4 × 15 mm2 aktive Fläche) der Detektorchips bieten den größten Raumwinkel für die Röntgenanalysen in einem REM. Je nach geometrischen Bedingungen sind Raumwinkel von mehr als 1 sr in Kombination mit einem hohen Abnahmewinkel von 60° oder mehr möglich, was zu extrem hohen Zählraten führen kann. Alle vier Detektorchips sind daher mit separaten Signalverarbeitungskanälen ausgestattet. Diese ermöglichen Eingangszählraten von bis zu 4.000.000 cps und eine kombinierte Ausgangszählrate (OCR) von bis zu 2.400.000 cps. Der XFlash® FlatQUAD bietet eine hervorragende Energieauflösung von 126 eV bei Mn Kα und 100.000 cps Eingangszahlrate (51 eV bei C Kα und 60 eV bei F Kα). Auflösungsklassen von 129 eV und 133 eV sind ebenfalls verfügbar.
