XFlash FlatQUAD - Annular EDS Detector

エネルギー分散型X線分析（EDS）を新たな次元へ

XFlash® FlatQUAD は、X線収集効率を最大化するために開発された革新的なEDS検出器です。これにより、EDSの新しい応用領域が広がります：

ナノメートルスケールまでの超高分解能SEM-EDS分析が可能
ダメージを受けやすい試料や帯電しやすい試料における元素マッピング
高スループットでの元素分析を実現
凹凸のある試料に対する正確な元素組成解析
SEMにおけるSTEM機能を用いたTEMライクなEDS分析

優れた立体角と高いカウントレート性能

FlatQUAD検出器は、検出素子の配置とサイズを最適化することで、SEMにおける最高峰のX線収集効率と高立体角を実現したEDS検出器です。

分析時のWD条件によっては、60°以上の高いテイクオフアングルと組み合わせて1 srを超える立体角が可能となり、極めて高いX線収集効率を達成します。これにより、非常に高いカウントレートが得られます。

4つすべての検出器素子には、それぞれ独立した信号処理チャンネルが搭載されています。これにより、最大8,000,000 cpsの入力カウントレート（ICR）、および**最大3,200,000 cpsの出力カウントレート（OCR）**を実現しています。

XFlash® FlatQUAD は、Mn Kαにおいて133 eV以下の優れたエネルギー分解能を保障しております。また、129 eVおよび127 eVの分解能クラスもオプションとして選択可能です。

検出器―試料間距離に対する XFlash FlatQUAD の立体角および OCR
本図は、XFlash FlatQUAD の各検出器―試料間距離の立体角および出力カウントレート（OCR）を示しています。測定条件は、加速電圧 5 kV、ビーム電流 1 nAにおける銅試料であり、この条件下で達成可能な OCR と、それに対応する検出器立体角を示しています。なお、これらの値は Nestor J. Zaluzec による Detector Solid Angle Formulas に基づいて理論的に算出されたものです。