XFlash® FlatQUAD - 試料直上型EDS検出器
エネルギー分散型X線分光の新たな限界へ
XFlash® FlatQUADは最大のシグナル検出を実現する最新のEDS検出器です。EDSの新たなアプリケーション領域を切り開きます。:
- ナノメートルスケールでの超高分解能SEM-EDS分析
- ダメージを受けやすい試料、チャージアップしやすい試料の元素マップ
- 超高速での元素分析
- 凹凸試料の元素組成を同定
- SEM内での電子線透過試料のEDS分析
傑出した検出立体角とカウントレート
検出器配置と素子サイズ (有効面積 4 × 15 mm2 ) がSEM-EDSにおける最高のX線検出立体角を実現します。レイアウトの条件によっては1 sr以上の検出立体角と60°以上の取り出し角も可能です。この検出効率が超高カウントレートをもたらします。
4つの検出素子はそれぞれ独立のシグナルプロセッサを備えています。最大で8,000,000 cpsの入力カウントレート (ICR)に対応し、4素子合計の出力カウントレート (OCR)は3,200,000 cpsに達します。
XFlash® FlatQUADではMn Kα線で127 eVの優れたエネルギー分解能が得られます。エネルギー分解能129 eVまたは133 eVのモデルも選択可能です。
検出器 - 試料間距離に対するXFlash FlatQUADの検出立体角と出力カウントレート (OCR). OCRは加速電圧 5 kV、ビーム電流 1 nAでの銅試料での値. 検出立体角はNestor J. Zaluzecによる理論値.
Discover QUANTAX FlatQUAD
XFlash® FlatQUADはQUANTAX FlatQUAD分析システムの中心となる検出器です。 QUANTAX FlatQUAD分析システムの詳細はこちら
XFlash® FlatQUAD検出器で測定した海産線虫の元素マップ
