平插式能谱仪 XFlash FlatQUAD

将 EDS 带到新极限

使用最新的探测器技术

XFlash® FlatQUAD,QUANTAX FlatQUAD的核心,基于一个全新的探测器概念。这将探测器放置在极靴和样品之间。因此,探测器安装在 SEM 仓室的水平端口上。传统的探测器很少延伸到极靴下方,需要使用倾斜端口。为了确保与许多不同的SEM类型兼容,探测器可以精确在X、Y和Z方向上定位。

XFlash® FlatQUAD包含四个独立的硅漂移探测器芯片,它们围绕探测器模块中的一个孔进行环形排列。电子束穿过中间这个孔。由于这种设计,以及保持探测器尽可能薄的需求,我们需要用一种新的方法来防止背散射电子到达探测器芯片。探测器配有不同厚度的特殊聚合物窗。它们吸收背散射电子,同时允许X射线通过。聚合物窗安装在滑块中,允许在不影响真空的情况下更换。这使得当探测器处于测量位置时,SEM 的加速电压仍可以发生变化。

XFlash FlatQUAD的功能原理图

出色的固体角和高计数率功能

探测器芯片的位置和尺寸(4 × 15 mm2有效区域)为 SEM 中的 X 射线采集提供了最大的固体角。收集效率可导致极高的计数率。因此,所有四个探测器芯片都配备了单独的信号处理通道。这允许高达 400万 cps 的输入计数率 (ICR) 和高达 160万 cps 的组合输出计数率 (OCR)。XFlash® FlatQUAD 在10万 cps 输入计数率下时提供 Mn Kα 126 eV (等效C K 51 eV 和 F K 60 eV)这样出色的能量分辨率。除此之外, Mn Kα 129 eV 和 133 eV 的分辨率等级也可以提供。

XFlash FlatQUAD 固体角和 OCR 与探测器样品距离的函数,测试参数为 5 kV 加速电压和1 nA 电流,使用的样品为铜。红线对应探测器的固体角,蓝点对应相应的OCR。理论计算则根据 Nestor J. Zaluzec、Detector Solid Angle 公式。