XFlash® FlatQUAD - 环形EDS探测器
将能量色散X射线光谱技术带入更高境界
XFlash® FlatQUAD 是一款新型EDS探测器，专为实现最大信号采集而设计，为EDS开辟了全新应用领域：
• 在纳米级尺度下实现超高分辨率的SEM EDS分析。
• 对电子束敏感样品进行元素成像分析。
• 实现高通量元素分析。
• 实现不平整立体样品的元素成分分析。
• 利用SEM实现类似TEM的EDS分析。
XFlash® FlatQUAD 探测器
优越的立体角设计和超高计数能力
探测器芯片的位置与尺寸设计，显著增大SEM中EDS探头的立体角，结合60°及更高入射角，可实现超过1 sr的立体角覆盖，这种收集效率带来极高的计数率。
四个探测器芯片均配备独立信号处理通道，使得输入计数率(ICR)可达8,000,000 cps，输出计数率(OCR)可达3,200,000 cps。
XFlash® FlatQUAD在Mn Kα线提供127 eV的卓越能量分辨率，同时提供129 eV和133 eV的分辨率等级。
XFlash FlatQUAD探测器立体角与输出计数率（OCR）的关联图，该图展示了在5kV 1nA下针对铜样品可实现的输出计数率与对应探测器立体角的关系。图中数据依据Nestor J. Zaluzec提出的探测器立体角计算公式进行理论推导。
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XFlash® FlatQUAD探测器采集的海洋蠕虫样品的元素分布图
