在SEM中利用独特的同轴TKD探测器同步获取晶体学和元素信息
快速地同步TKD和EDS测量
布鲁克独特的 XFlash® FlatQUAD 平插式能谱仪具有最高达 1.1 sr 的超高立体角，可与 OPTIMUS 2 同时使用，并以无与伦比的空间分辨率和速度，采集电子透明样品的化学成分和晶体取向数据。
可以使用为电子透明样品优化的定量方法进行准确的EDS定量分析：
- Cliff-Lorimer因子法
- Zeta因子法
EDS和TKD的同步采集非常适合表征含有多种晶体物相的未知样品，例如析出相和/或夹杂物。结合的数据集可用于离线相鉴定和重新分析，ESPRIT 2 离线标定速度可达60,000点每秒，极大地提高了分析效率。
利用XFlash FlatQUAD 平插式能谱仪（上）、OPTIMUS 2同轴TKD探测器（下）和TKD样品台（中）同步进行EDS和同轴TKD分析时的探测器位置示意图。
XFlash FlatQUAD 平插式能谱仪，采用四个SDD芯片环形布局。右侧直方图显示其立体角随SDD芯片与样品之间距离的变化。
从氧化物弥散强化（ODS）钢样品中获得的类明场（BF）图像，显示了钛氧化物颗粒（亮区）和富钇钛氧化物颗粒（深灰色）存在于铁素体晶粒基体中。该图像采用5 nA束流和20 kV加速电压在3秒内获得。
TKD采集的花样质量图，该图与EDS面分布图同时采集，采集速度为272点/秒。此次测试的能谱计数率约为1 Mcps。
显示钛（Ti）分布的EDS元素含量分布图（归一化原子百分比）。
显示钇（Y）分布的EDS元素含量分布图（归一化质量百分比）。
经过离线相鉴定和重新分析后的最终物相分布图（TKD结果）。铁素体基体以红色显示，钛氧化物颗粒以绿色显示，富钇钛氧化物颗粒以蓝色显示。
取向分布图（IPF-Z）及每种物相对应的图例。