独自のオンアクシスTKD検出器を用いた SEM における結晶学情報と元素情報の同時取得
最速の TKD & EDS 同時測定
Bruker 独自の XFlash® FlatQUAD EDS 検出器は、最大 1.1 sr という超大立体角を備えており、OPTIMUS 2 と同時使用することで、薄膜試料から 化学情報および結晶方位情報を含むマッピングデータを、比類のない空間分解能と速度で取得することが可能です。薄膜試料に最適化された手法を用いることで、高精度な定量 EDS 解析が実現できます。
Cliff‑Lorimer 法
Zeta 法
EDS と TKD の同時測定は、析出物や介在物など、複数の結晶相を含む未知性の高い試料の解析に最適です。取得した複合データセットは、オフラインでの相同定や再解析に利用でき、ESPRIT 2 が最大 60,000 パターン／秒でインデックス処理可能という特長により、解析効率を大幅に向上させます。
XFlash FlatQUAD EDS 検出器（上）、OPTIMUS 2 検出器ヘッド（下）、および TKD 試料ホルダー（中央）を用いた、オンアクシス TKD と EDS の同時マッピングにおける検出器－試料配置
4つのSDDチップレイアウトと、SDDチップとサンプル間の距離を持つ固体角度変動を示すヒストグラムを備えたXFlash FlatQUAD EDS検出器
酸化チタン粒子(明るい灰色)とイットリウムが豊富な酸化チタン粒子(ダークグレー)をフェライト粒のマトリックスで示す酸化物分散強化(ODS)鋼サンプルから取得したBF様画像。画像は、5nAプローブ電流と20kV加速電圧を用いて3sで取得した。
272 ポイント/秒の速度で、EDS ハイパーマップと同時に取得された TKD マップのパターン品質マップ表現。この測定のスループットカウント率は、〜1 Mcpsであった。
Ti 分布を示す EDS ハイパーマップ (正規化された原子%
Y分布を示すEDSハイパーマップ(正規化質量%)
オフラインフェーズIDおよび再分析後の最終フェーズ分布マップ(TKD結果)。フェライトマトリックスは赤色で示され、酸化チタン粒子は緑色で示され、イットリウムが豊富な酸化チタン粒子は青色で示されている。
各結晶図相の配向分布マップ(IPFz)と対応する着色スキーム