Elementidentifikation in Halbleiter-Mikrochips
Das elektrisch leitfähige Keramikmaterial Wolframsilizid wird in Mikroelektronik-Produkten wie Mikrochips verwendet. Wolframsilizid kann auch als refraktäre Phase in Halbleitermaterialien wie Si-Wafern auftreten.
Um bei der Qualitätskontrolle eine hohe räumliche Auflösung auf der Mikrometer- und Nanometer-Ebene zu erreichen, müssen die röntgenspektroskopischen Analysen bei niedrigen Beschleunigungsspannungen durchgeführt werden, was die Identifizierung dieser Phasen erschwert. Nur die Röntgenlinien der Wolfram-M-Serie, die stark mit der Silizium-K-Linie des Substrats überlappen, werden bei niedrigen Beschleunigungsspannungen angeregt.
Die resultierenden EDS-Peaks der Primärelemente werden leicht verbreitert und verschleiern das Vorhandensein der zweiten Phase. Im Gegensatz dazu werden Elemente wie W mit dem QUANTAX WDS aufgrund seiner überlegenen Spektralauflösung zuverlässig identifiziert.
Alternatives to Wavelength Dispersive Spectroscopy
QUANTAX WDS is no longer available to purchase. However, we have suitable alternatives that cover the benefits of WDS - light element detection, peak deconvolution, trace element detection and efficient X-ray line separation.
To learn more about these solutions view our page Analytical Alternatives to Wavelength Dispersive Spectroscopy.
Information about the end of sales and service lifetime of QUANTAX WDS and XSense can be found here.
