반도체 마이크로칩 재료의 원소 식별
전기 전도성 세라믹 재료 텅스텐 실리히드는 마이크로 칩과 같은 마이크로 일렉트로닉스에 사용됩니다. 텅스텐 실리드도 시 웨이퍼와 같은 반도체 재료의 내화 상으로 발생할 수 있습니다.
품질 관리 중 마이크로 및 나노 수준에서 높은 공간 해상도를 달성하기 위해서는 저가속 전압에서 분석이 수행되어 이러한 단계의 식별을 복잡하게 만듭니다. 기판 Si Kα 라인과 심각하게 겹치는 텅스텐 M 시리즈 에너지 라인만이 저가속 전압에서 생성됩니다.
기본 요소의 결과EDS 피크는 약간 넓어지고 두 번째 단계의 존재를 마스킹합니다. 이와 는 대조적으로 W와 같은 요소는 우수한 스펙트럼 해상도로 인해 QUANTAX WDS를 사용하여 자신있게 식별됩니다.
Alternatives to Wavelength Dispersive Spectroscopy
QUANTAX WDS is no longer available to purchase. However, we have suitable alternatives that cover the benefits of WDS - light element detection, peak deconvolution, trace element detection and efficient X-ray line separation.
To learn more about these solutions view our page Analytical Alternatives to Wavelength Dispersive Spectroscopy.
Information about the end of sales and service lifetime of QUANTAX WDS and XSense can be found here.
