半導体マイクロチップ材料における元素同定
導電性セラミック材料であるタングステンシリサイドは、マイクロチップなどのマイクロエレクトロニクスで使用されています。タングステンシリサイドは、Siウエハなどの半導体材料において安定層として使用することもあります。
品質管理中にマイクロレベルとナノレベルで高い空間分解能を実現するためには、低加速電圧で解析を行う必要があり、これらの相の同定が複雑になります。低加速電圧では、基板Si Kα線と大きく重なっているタングステンのMシリーズのエネルギーラインのみが生成されます。
結果として得られる一次元素のEDSピークはわずかに広がり、第2相の存在を覆う隠します。それとは対照的に、優れたスペクトル分解能により QUANTAX WDS を使用して十分Wなどの元素を識別することが可能です。
Alternatives to Wavelength Dispersive Spectroscopy
QUANTAX WDS is no longer available to purchase. However, we have suitable alternatives that cover the benefits of WDS - light element detection, peak deconvolution, trace element detection and efficient X-ray line separation.
To learn more about these solutions view our page Analytical Alternatives to Wavelength Dispersive Spectroscopy.
Information about the end of sales and service lifetime of QUANTAX WDS and XSense can be found here.
