QUANTAX WDS
SEM용 파장 분산형 분광법
뛰어난 스펙트럼 해상도
향상된 분석 정확도 및 정밀도
~ 4
eV
Si-Kα의 FWHM
탁월한 에너지 분해능 제공
< 100
ppm
다양한 원소의 검출 한계
정밀한 미량 원소 분석 가능
> 900
cps/nA
80 Å 멀티레이어기준 C-Kα 카운트율
저에너지 X선에 대한 높은 감도 제공
전자 프로브 마이크로 분석기의 이점으로 SEM 보완
- SEM용 QUANTAX WDS(WDX)는 XSense 파장 분산 분광기로 구성되어 모든 병렬 빔 WDS 시스템 중 에서 최상의 해상도를 제공합니다. 병렬 빔 설계로 인해 큰 고체 각도는 로우랜드 원 기반 WDS 분광계에 비해 저에너지 X선에 대한 신호 강도가 훨씬 높습니다.
- WDS의 특징인 높은 신호 대 잡음 비율은 배경 아티팩트를 억제하는 고유한 보조 광학에 의해 더욱 강화됩니다.
- 최고급 방목 발생 광학 및 최대 6개의 분석기 결정이 장착된 QUANTAX WDS는 70eV 위쪽으로 저에너지 X선에 대한 뛰어난 감도를 가지고 있습니다.
- 독창적인 자동 광학 정렬 시스템과 고유한 압력 제어 비례 카운터는 정확하고 재현 가능한 결과를 보장합니다.
- WDS 또는 EDS 포트에 대한 유연한 적응.
SEM 기반 WDS – 까다로운 분석 응용 프로그램을 위한 완벽한 솔루션
Ta-W-Si, Pb-S 또는 Mo-S와 같은 일반적인 EDS 피크 중복 해결
관심 있는 요소에 대한 저에너지 X선 라인 시리즈(L, M, N)를 살펴보세요.
낮은 가속 전압으로 샘플을 검사하여 최소한의 침투 깊이를 보장합니다.
전체 농도 범위에서 Be에서 F까지 광 원소 조사를 가능하게 하는 높은 고체 각도로 인해 가장 높은 cps/nA 값을 얻을 수 있습니다.
EDS 검출 한계보다 훨씬 낮은 미량 요소 농도 결정
전도성 코팅의 필요 없이 저진공에서 측정
고유한 압력 제어 비례 카운터로 분석 측정 시간을 절약
정확한 정량화를 위해 스펙트럼 데이터의 공간 정확도 보장
결합된 정량화에 각 검출기의 이점을 통합하는 동시 WDS 및 EDS 분석을 통해 데이터 수집 시간을 절약할 수 있습니다.
