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Analysesysteme für Elektronenmikroskope

QUANTAX WDS

Wellenlängendispersive Spektrometrie für REM

Herausragende spektrale Auflösung

Hohe analytische Genauigkeit und Präzision

QUANTAX WDS

Highlights

~ 4
eV
Halbwertsbreite für Si-K
Um mehr als eine Größenordnung bessere Energieauflösung
< 100
ppm
Nachweisgrenze für zahlreiche Elemente
Hohe Genauigkeit und Präzision für Spurenelemente
> 900
cps/nA
Zählrate für C-K mit einem 80 Å - Multilayer
Hohe Empfindlichkeit für energiearme Röntgenstrahlen

Ergänzen Sie Ihr REM mit den Vorteilen einer Elektronenstrahlmikrosonde

  • Das QUANTAX WDS (WDX) für REM basiert auf dem XSense, einem wellenlängendispersiven Röntgenspektrometer, das die beste Auflösung unter allen Parallelstrahl-WDS-Systemen liefert. Der große Raumwinkel führt aufgrund des Parallelstrahldesigns zu einer viel höheren Signalintensität für energiearme Röntgenstrahlen im Vergleich zu einem Rowland-Kreis-basierten WDS-Spektrometer.
  • Die für WDS charakteristisch hohen Signal-Rausch-Verhältnisse werden durch eine einzigartige Sekundäroptik, die Hintergrundartefakte unterdrückt, weiter verbessert.
  • Ausgestattet mit der feinsten Spiegeloptik und bis zu sechs Analysatorkristallen, hat das QUANTAX WDS eine unübertroffene Empfindlichkeit für energiearme Röntgenstrahlen ab 70 eV.
  • Ein ausgeklügeltes, automatisches Fokussiersystem für die Optik und ein einzigartiger, druckgeregelter Proportionalzähler sorgen für präzise und reproduzierbare Ergebnisse.
  • Die flexible Anpassung des Spektrometers am REM ist sowohl über einen WDS- als auch einen EDS-Port möglich.

Vorteile

WDS am REM – eine perfekte Lösung für anspruchsvolle analytische Anwendungen

  • Lösen Sie häufige EDS-Peaküberlagerungen auf, wie z.B. Ta-W-Si, Pb-S oder Mo-S
  • Explorieren Sie die Niederenergie-Röntgenlinienserien (L, M, N) für die Elemente Ihres Interesses
  • Untersuchen Sie Proben mit niedrigen Beschleunigungsspannungen, um eine minimale analytische Eindringtiefe zu gewährleisten
  • Analysieren Sie Leichtelemente von Be bis F über den gesamten Konzentrationsbereich mit höchsten Zählraten
  • Bestimmen Sie Spurenelementkonzentrationen weit unter den Nachweisgrenzen eines EDS
  • Messen Sie auch ohne leitfähige Beschichtung durch volle Funktionalität im Niedervakuum
  • Reduzieren Sie den analytischen Aufwand durch den einzigartigen, druckgeregelten Proportionalzähler für hohe Reproduzierbarkeit 
  • Gewinnen Sie an Präzision für die Quantifizierung durch Gewährleistung der räumlichen Genauigkeit der Spektraldaten
  • Steigern Sie die Effizienz durch die simultane WDS- und EDS-Analyse, die die Vorteile jedes Detektors in die kombinierte Quantifizierung einbezieht

Anwendungen

Was ist Ihre analytische Herausforderung?

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Reinheitskontrolle von Edelsteinen mit WDS

Die Reinheitskontrolle von Edelsteinen und synthetischen Surrogaten kann mit dem Rasterelektronenmikroskop (REM) erfolgen. Verunreinigungen werden bei einer Analyse mit hoher Spektralauflösung, wie sie Bruker's wellenlängendispersive Röntenspektroskopie (WDS) bietet, erkannt und zuverlässig identifiziert.
X-ray spectrum section for tungsten silicide in the energy region of 1.6 - 2.0 keV showing the high spectral resolution of WDS

Elementidentifikation in Halbleiter-Mikrochips

Die Identifizierung von Elementen in Halbleitermaterialien erfolgt zuverlässig mit der WDS-Technik dank ihrer hohen Energieauflösung. EDS-Peaküberlappungen lassen sich damit leicht auflösen.
Mit WDS aufgenommenes Elementverteilungsbild für Sr, ein Spurenelement in Plagioklas.

Spurenelement-Verteilung in Plagioklasen

Die Verteilung von Haupt- und Spurenelementen in mineralogischen Proben lässt sich mit Bruker's wellenlängendispersiven Spektrometer (WDS) am REM leicht bestimmen.
BSE-Bild eines submarin eruptierten, hydrothermal veränderten, Sulfid-führenden Vulkangesteins (Probe mit freundlicher Genehmigung von Dr. Daniel J. Smith, University of Leicester, UK).

Auflösen von Röntgenpeak-Überlappungen in Sulfidmineralen

Galenit ist ein sulfidisches Mineral der Zusammensetzung PbS und kristallisiert im kubischen Kristallsystem. Bruker's wellenlängendispersives Röntgenspektrometer (WDS) für REM kann die starken Überlagerungen der Röntgenpeaks beider Elemente leicht auflösen.
Elementverteilungsbild für S und Pb auf der Elektrode einer Bleibatterie, aufgenommen mit kombinierter WDS- und EDS-Röntgenspektroskopie.

Sulfatierung von Bleiakkumulatoren

Die Elementverteilung und die daraus resultierende Verteilung chemischer Phasen in Batterien kann mit der wellenlängendispersiven Spektroskopie (WDS) am REM genau bestimmt werden.
Elementverteilungsbild für C und Fe in einem zweiphasigen Stahl, aufgenommen mit kombinierter WDS- und EDS-Röntgenspektroskopie (mit freundlicher Genehmigung der TU Eindhoven).

Analyse der Kohlenstoffverteilung in Stahl

Die WDS-Technik ist die ideale REM-basierte Analysetechnik zur genauen Bestimmung des Gehaltes und der Verteilung von Kohlenstoff in Stählen.

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