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Dimension FastScan Pro

On Off Bruker FastScan Pro AFM Brochure

Hochauflösende Bildgebung & präziseste Messungen

PeakForce Tapping® ermöglicht konsistente AFM-Bildgebung mit hoher Auflösung.


Slide 1 mockup short

Die einzigartige Technologie ermöglicht es, die Energie auf jedes einzelne Atom Ihrer Probe zu richten.



Die präziseste Sonden-Proben-Kontrolle ermöglicht ein breites Spektrum an Probentypen, von weichen Polymeren, dünnen Schichten und elektrischen Proben bis zu sehr harten Materialien.


Präzise Sonden-zu-Probe-Kontrolle und einzigartige Sondentechnologien.



Bereitstellung der niedrigsten verfügbaren Bildgebungskräfte und einer langen Lebensdauer der Sondenspitze bei Hunderten von Eingriffen und Datenscans.

FastScan Pro ScanAsys tAir PFT v1

Glassubstrat mit niedrigen Rauheitswerten von Rq = 0,194 nm, Ra = 0,153 nm.

Einzigartige, quantitative Ergebnisse, was auch immer Sie messen

Die Piconewton-Kraftempfindlichkeit von PeakForce Tapping liefert quantitative Daten.


FastScan Pro trench resolution v2

ScanAsyst®- und Standard-Bruker-Sonden erreichen leicht den Boden von Furchen, hier eine Tiefe von ~65 nm und eine Breite von ~50 nm.

 

Messen Sie Sub-Nanometer-Schritte zu Furchen mit hohem Aspektverhältnis.



Die höchstauflösende AFM-Topographie erreicht eine Nanometer-Schritt-Messtechnik mit einer Angström-Auflösung. Darüber hinaus ermöglichen die Industriesonden und das PeakForce-Tapping von Bruker eine Tiefenmessung mit hohem Aspektverhältnis, die bei anderen Systemen dieser Klasse nicht verfügbar ist.

Analysieren Sie große Datenmengen mit konsistenter Auflösung in der Produktion.



Die Dimension-Plattform ermöglicht das Laden einzelner großer oder mehrerer kleinerer Stichproben für mehr Effizienz und einen höheren Durchsatz, unter Beibehaltung der Leistung der FastScan- und Icon-Technologie.

FastScan Pro 3D geometry v1

Der halbautomatisierte 24/7-Betrieb ermöglicht die Charakterisierung der 3D-Geometrie für die Prozesssteuerung.

Einfach zu verwenden, um jeden Benutzer zum AFM-Experten zu machen

Erreichen Sie präzise und genaue Messungen unabhängig von Ihrem AFM-Erfahrungsniveau

FastScan Pro Recipe Window v1

Rezeptfenster mit einem Wafer-basierten Layout für präzise, benutzerdefinierte X-Y-Messstellen innerhalb eines Wafers.

Eliminieren Sie die Komplexität der AFM-Bedienung.



ScanAsyst-Algorithmen überwachen gemeinsam mit der AutoMET-Software automatisch und kontinuierlich die Bildqualität und nehmen die erforderlichen Parametereinstellungen vor.

Automatisieren Sie Messungen an mehreren Proben.



Die AutoMET™ Full-Recipe-Software bietet schnelle, automatisierte Messtechnik, einfache Bedienung und AFM-Anpassungsfähigkeit für die einfache Erfassung von qualitätskritschen Messungen.

FastScan Pro Recipe Window for wafers v1

Durch die einfache Erstellung von Messrezepten können Ingenieure den Namen des Standorts definieren, jedem Typ zuweisen und die Anzahl der Messungen pro Standort bestimmen.

Zuverlässigste Plattform und unübertroffener Support.

Wir setzen alles daran, Ihre Produktion am Laufen zu halten und Sie bei Ihren Produktionsherausforderungen zu unterstützen.

FastScan Pro AFM 30 years medallion v1

Kostensenkung durch Betriebseffizienzen.



Die Dimension-Plattform verfügt über die größte installierte Rasterkraftmikroskop-Grundplatte in der Halbleiter-, Datenspeicher-, HB-LED- und Polymerindustrie.

Apps team v2


Profitieren Sie vom breiten Wissen unserer Kundendienstmitarbeiter im Bereich der Industrieanwendungen.



Schulungs- und Servicecenter auf der ganzen Welt sowie eine spezielle Support-Website stellen sicher, dass Sie zeitnahe, kompetente und personalisierte Systemunterstützung erhalten.