原子間力顕微鏡

Dimension HPI

産業研究開発用自動ナノ計測
Dimension FastScan Pro

ハイライト

Dimension HPI

 

原子間力顕微鏡(AFM)であるDimension®ファミリーのファミリーは、最高の速度と性能から工業用計測用途の長年の実績により高い評価を得ています。大量生産を行う製造現場環境向けに特別に設計されたブルカーのDimension HPI およびDimensionPRO システムは、多くのAFM モードの自動測定を可能にしながら、品質管理、品質保証、および故障解析のための使いやすさと運用における測定コスト最大限に抑えた測定を実現します。コンタクト、タッピング、およびPeakForceTapping® モード技術を使用して、ユーザーはプローブとサンプル間の相互作用を正確に制御し、長いチップ寿命と同時に数千回もの反復測定においても正確な結果を提供します。

 

独自
AFM生産技術
業界をリードする表面特性評価を可能にします。
信頼性・コスト
高信頼の測定品質と低コストの両立
運用の効率化によりコストを削減します。
自動化
AFMスキャナ
信頼性の高いシームレスな測定ワークフローを提供します。

特長

機能

生産現場の多様性に対応

Dimensionプラットフォームは、ポリマー、半導体、データストレージ、高輝度LED、マイクロディスプレイなどの業界で最大の納入実績を有します。HPIおよびPROはオープンアクセスプラットフォームにより、大型または複数サンプルホルダーなど、大量測定に適したアクセサリーやソフトウェアなどの効率化、最適化のためのオプションを搭載することで、最先端のAFM技術を提供します。Dimension Proは、セミコンダクター、データストレージ、HB-LED用に2インチから12インチまでのウェハの自動測定を実現します。特徴は、200mmウェハまたは200mm径エリアの複数のサンプルにフルアクセスするためのXYサンプル移動量を増やし、300mmウェハ用のオプションのチャックを備えていることです。また、トポグラフィ、粗さ、その他の計測分析用の高スループット5~10倍速FastScanスキャナー、または、より大きなスキャンと高精度のトポグラフィ性能を実現する90μmスキャンレンジのIconスキャナーのいずれかを選択することができます。


QA / QC / FAにおける効率的かつ最も確実なナノスケール計測のためのソリューションです。

自動化ソフトウェアで生産現場をパワフルにサポート

新しいAutoMET™フルレシペ ソフトは、高速で自動化された計測、シンプルな操作、およびAFM適応性を提供し、生産現場で必要とされる重要な測定値から品質の高い測定値を簡単に取得することができます。このソフトウェアは、複数の場所でのナノスケール特性評価のために、複数のサンプルまたは単一の大型サンプルの自動測定を可能にします。また、光学的およびAFMイメージングのパターン認識、チップセンタリング、フルウェーハまたはグリッドマッピングのサポート、数十ナノメートル以内のイメージ位置精度を提供します。包括的でありながらシンプルなレシピ書き込みにより、上級者向けのリアルタイムおよびオフラインでの使用が可能です。

簡単な測定レシピ作成により、エンジニアは名前で場所を定義し、任意のタイプを割り当て、各場所での測定数を割り当てることができます。
ウエハー内の正確な、ユーザー定義のX-Y測定位置のためのウエハーベースのレイアウトを示すレシピウィンドウ。

精密なプローブサンプル制御

Dimension FastScan Pro は、最も精密なプローブサンプル制御を提供し、ソフトポリマー、薄膜、電気サンプルから非常に硬い材料まで、最も幅広い種類のサンプルを使用できます。

独自の技術により、サンプル上の任意の原子に対するピンポイントフォースが可能になります。この精密なプローブからサンプルへの制御により、ソフトポリマー、薄膜、電気サンプルから硬質材料まで、幅広い種類のサンプルを使用できます。また、利用可能な最も低いイメージング力と、何百ものエンゲージとデータスキャンに対する長いプローブ先端寿命を提供します。

アプリケーション

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