FastScan Pro
Dimension FastScan Pro
Dimension FastScan Pro는 오늘날 사용할 수있는 모든 산업 AFM의 가장 높은 계측 수준의 속도와 성능을 제공합니다. 이 시스템은 자동화또는 반자동 측정을 가능하게 하면서 품질 관리, 품질 보증 및 고장 분석을 위해 측정당 최대한의 사용 편의성과 최저 비용을 보장합니다.
생산 다양성
FastScan Pro는 개방형 플랫폼, 대형 또는 다중 샘플 홀더 및 수많은 사용 편의 기능을 활용하여 산업용 QA, QC 및 FA 애플리케이션을 위한 유연한 고성능 나노 스케일 계측을 제공합니다. 이 시스템은 세미, 데이터 스토리지 및 HB-LED를 위한 자동 2인치에서 12인치 웨이퍼 측정을 제공합니다. 직경 200mm 영역에서 200mm 웨이퍼 또는 여러 샘플에 완전히 접근할 수 있도록 XY 샘플 이동이 증가하고 300mm 웨이퍼를 위한 척 옵션을 제공합니다. 또한 지형, 거칠기 및 기타 계측 분석을 위한 고처리량 5-10x FastScan 스캐너 또는 더 큰 스캔 및 고정밀 지형 성능을 위한 90μm 스캔 범위가 있는 아이콘 스캐너 중에서 선택할 수 있습니다.
강력한 자동화 소프트웨어
AutoMET™ 풀 레시피 소프트웨어는 빠르고 자동화된 계측, 간단한 작동 및 AFM 적응성을 제공하여 생산에 필요한 중요 품질 측정을 쉽게 포착할 수 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 여러 위치에서 나노 스케일 특성화를 위해 여러 샘플 또는 단일 대형 샘플에서 자동화된 측정을 할 수 있습니다. 또한 수십 나노미터 내에서 광학 및 AFM 이미지 패턴 인식, 팁 센터링, 전체 웨이퍼 또는 그리드 매핑 지원, 이미지 배치 정확도를 제공합니다. 포괄적이지만 간단한 레시피 작성은 고급 사용자에게 실시간 및 오프라인 사용을 제공합니다.
정밀한 프로브 시료 제어
고유한 기술을 통해 샘플의 모든 원자에 대한 정밀 한 힘을 사용할 수 있습니다. 이 정밀한 프로브 대 시료 제어는 연약한 폴리머, 박막 및 전기 샘플에서 단단한 재료에 이르기까지 가장 광범위한 샘플 유형을 허용합니다. 또한 수백 개의 참여 및 데이터 스캔을 통해 사용 가능한 이미징 력과 긴 프로브 팁 수명을 제공합니다.
Powered by the NanoScope 6 AFM Controller
Featuring higher speeds, lower noise, and greater AFM mode flexibility, the NanoScope 6 controller allows users to harness the full potential of our high-performance Dimension and MultiMode AFM systems. This latest generation controller provides unprecedented accuracy, precision, and versatility for nanoscale surface measurements in every application.
NanoScope 6 uniquely enables Bruker AFMs to:
- Operate in more imaging modes than is possible with competing systems, including unique and advanced AFM modes that require complex control and analysis;
- Collect accurate, quantitative data for nanoelectrical and nanomechanical property measurements in every application; and
- Optimize and customize scanning parameters to meet even the most demanding research and industry measurement requirements.
Dimension FastScan Pro 데이터 갤러리
