Caracterización cuantitativa de películas delgadas nanoestructuradas
Los nanomateriales generalmente se investigan en el Microscopio Electrónico de Transmisión (TEM). Sin embargo, es posible caracterizar cuantitativamente los nanomateriales benifiting del gran campo de visión del Microscopio Electrónico de Escaneo (SEM). La técnica TKD en el eje fue desarrollada para este objetivo; ahora es un método basado en SEM bien establecido que produce la medición de distribución de orientación a nanoescala utilizando hardware EBSD. En este ejemplo de aplicación, la distribución de orientación de películas delgadas de oro y platino se midió con detector e-Flash FS retroffited con cabezal OPTIMUS TKD en un FEG-SEM. La medición TKD de alta velocidad se logra a una corriente de sonda baja (<3 nA) lo que permite superar la deriva del haz y lograr una resolución espacial ultra alta: en 20 minutos se midieron más de 1000 granos con el tamaño de grano más pequeño de 20 nm y se resolvieron características ultrafinas como los límites de los gemelos (3 nm).
