纳米薄膜的定量表征
纳米材料通常在透射电镜（TEM）中进行研究。然而，在扫描电子显微镜（SEM）对纳米材料进行定量表征可以应用更大的视野，包含更多的样品信息。为此布鲁克开发了同轴 TKD技术；目前为止，它已成为是一项基于SEM的成熟技术，可以使用EBSD硬件在纳米尺度上进行取向分布测试。在此应用示例中，在 FEG-SEM 使用e-Flash FS探测器中用OPTIMUS TKD探头对Au和Pt薄膜的取向分布图进行测量。我们在低探针电流（<3 nA）下实现高速 TKD 测量，从而克服电子束漂移并实现超高空间分辨率。这个样品在 20 分钟内测量了 1000 颗晶粒，最小晶粒仅为 20 nm，并解析了孪晶晶界等超细结构（3 nm）。
左图：3 nm 宽度的孪晶晶界解析（IPF Z 图，同轴 TKD，1.5nm 步长），右图：Au 薄膜的菊池花样
5 nm Si3N4 膜上 20 nm Au 膜的同轴 TKD 的IPFZ图，该图的步长为 2 nm ，标定率> 92%。 超过2400个晶粒被检测。
以 3 nm 空间分辨率获得的 Au 薄膜的 ARGUS 彩色编码的暗场像