Quantitative Charakterisierung nanostrukturierter dünner Schichten
Nanomaterialien werden in der Regel im Transmissionselektronenmikroskop (TEM) untersucht. Es ist jedoch auch möglich, Nanomaterialien mit Hilfe eines großen Bildausschnittes im Rasterelektronenmikroskop (REM) quantitativ zu analysieren. Zu diesem Zweck wurde die On-Axis TKD-Technik entwickelt, die bereits eine etablierte REM-basierte Methode zur Messung der Orientierungsverteilung im Nanometerbereich unter Nutzung der EBSD-Hardware ist. In dem hier gezeigten Anwendungsbeispiel wurde die Orientierungsverteilung von dünnen Gold- und Platinschichten mit dem eFlash FS Detektor mit OPTIMUS™ TKD Detektorkopf in einem Feldemissions-REM gemessen. Bei niedrigem Strahlstrom (<3 nA) werden ultraschnelle TKD-Messungen durchgeführt, um die Strahldrift zu überwinden und eine ultrahohe räumliche Auflösung zu erreichen: in 20 Minuten wurden über 1000 Körner mit der kleinsten Korngröße von 20 nm gemessen und ultrafeine Details wie Zwillingskorngrenzen aufgelöst (3 nm).
